半導体デバイスの低温・低圧成長プロセスと低温ドーピングプロセスに関する基礎的研究

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著者

    • 藤本, 博 フジモト, ヒロシ

書誌事項

タイトル

半導体デバイスの低温・低圧成長プロセスと低温ドーピングプロセスに関する基礎的研究

著者名

藤本, 博

著者別名

フジモト, ヒロシ

学位授与大学

大同工業大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

乙第2号

学位授与年月日

1999-03-18

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
  3. 1.1 MOCVD法によるII-VI族化合物半導体の研究の現状 / p1 (0004.jp2)
  4. 1.2 電子ビーム照射技術の現状 / p1 (0004.jp2)
  5. 1.3 本研究の背景と目的 / p3 (0005.jp2)
  6. 1.4 本研究の概要 / p5 (0006.jp2)
  7. 参考文献 / p7 (0007.jp2)
  8. 第2章 MOCVD法によるZnCdTeおよびZnCdSe三元化合物薄膜の作製 / p9 (0008.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p9 (0008.jp2)
  10. 2.2 薄膜成長に使用したMOCVD装置の概要 / p12 (0010.jp2)
  11. 2.3 II-VI族三元化合物半導体の成長 / p13 (0010.jp2)
  12. 2.4 実験結果および考察 / p16 (0012.jp2)
  13. 2.5 MOCVD法による[化学式]薄膜の成長 / p32 (0020.jp2)
  14. 2.6 [化学式]薄膜の評価 / p33 (0020.jp2)
  15. 2.7 結言 / p36 (0022.jp2)
  16. 参考文献 / p38 (0023.jp2)
  17. 第3章 MOCVD法によるZnCdS三元化合物薄膜の成長と不純物のドーピング / p39 (0023.jp2)
  18. 3.1 緒言 / p39 (0023.jp2)
  19. 3.2 MOCVD法による[化学式]の結晶成長とその評価 / p41 (0024.jp2)
  20. 3.3 ZnCdS薄膜への窒素およびリンの電子ビームドーピング / p47 (0027.jp2)
  21. 3.4 結言 / p57 (0032.jp2)
  22. 参考文献 / p58 (0033.jp2)
  23. 第4章 電子ビームドーピングにおける界面の役割 / p60 (0034.jp2)
  24. 4.1 緒言 / p60 (0034.jp2)
  25. 4.2 実験方法 / p61 (0034.jp2)
  26. 4.3 実験結果 / p62 (0035.jp2)
  27. 4.4 考察 / p66 (0037.jp2)
  28. 4.5 結言 / p69 (0038.jp2)
  29. 参考文献 / p70 (0039.jp2)
  30. 第5章 電子ビームドーピングによる単原子の移動(Ge/Si 2層構造) / p71 (0039.jp2)
  31. 5.1 緒言 / p71 (0039.jp2)
  32. 5.2 実験方法 / p71 (0039.jp2)
  33. 5.3 実験結果 / p72 (0040.jp2)
  34. 5.4 考察 / p78 (0043.jp2)
  35. 5.5 結言 / p84 (0046.jp2)
  36. 参考文献 / p85 (0046.jp2)
  37. 第6章 基板界面での単原子の移動による合金層の形成(Si/Ge/Si 3層構造) / p86 (0047.jp2)
  38. 6.1 緒言 / p86 (0047.jp2)
  39. 6.2 実験方法 / p87 (0047.jp2)
  40. 6.3 実験結果 / p88 (0048.jp2)
  41. 6.4 考察 / p90 (0049.jp2)
  42. 6.5 結言 / p97 (0052.jp2)
  43. 参考文献 / p99 (0053.jp2)
  44. 第7章 総括 / p100 (0054.jp2)
  45. 謝辞 / p102 (0055.jp2)
  46. 発表論文 / p103 (0055.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000173138
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000173414
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000337452
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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