薄膜カンチレバー式微小把持要素の開発とその応用に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
薄膜カンチレバー式微小把持要素の開発とその応用に関する研究
- Author
-
鈴木, 美彦
- Author(Another name)
-
スズキ, ヨシヒコ
- University
-
桐蔭横浜大学
- Types of degree
-
博士(工学)
- Grant ID
-
乙第1号
- Degree year
-
1999-03-26
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0009.jp2)
- 1.1 まえがき / p1 (0009.jp2)
- 1.2 顕微鏡下で用いる微小把持要素の現状と研究課題 / p4 (0012.jp2)
- 1.3 本研究の目的と本論文の構成 / p5 (0013.jp2)
- 第2章 新駆動方式の提案と駆動特性式の導出 / p8 (0016.jp2)
- 2.1 緒言 / p8 (0016.jp2)
- 2.2 従来の微小把持要素の現状 / p10 (0018.jp2)
- 2.3 新駆動方式と構造の提案 / p12 (0020.jp2)
- 2.4 駆動特性式の導出 / p17 (0025.jp2)
- 2.5 結言 / p26 (0034.jp2)
- 第3章 製造プロセス / p28 (0036.jp2)
- 3.1 緒言 / p28 (0036.jp2)
- 3.2 低応力薄膜の成膜条件の抽出と膜組成の解析 / p30 (0038.jp2)
- 3.3 薄膜フィンガー材料のヤング率の定量化 / p38 (0046.jp2)
- 3.4 プロセス設計と課題 / p49 (0057.jp2)
- 3.5 昇華性物質を用いた新リリース技術の提案とリリース実験結果 / p54 (0062.jp2)
- 3.6 観察結果 / p60 (0068.jp2)
- 3.7 結言 / p68 (0076.jp2)
- 第4章 微小把持要素の駆動特性とマニピュレ―ションシステムの評価 / p70 (0078.jp2)
- 4.1 緒言 / p70 (0078.jp2)
- 4.2 実験装置の構成 / p71 (0079.jp2)
- 4.3 マスター人力装置の開発 / p75 (0083.jp2)
- 4.4 駆動特性の評価結果と特性係数の導出 / p80 (0088.jp2)
- 4.5 物質のマニピュレーション結果 / p94 (0102.jp2)
- 4.6 結言 / p101 (0109.jp2)
- 第5章 把持物質の機械的特性の計測 / p103 (0111.jp2)
- 5.1 緒言 / p103 (0111.jp2)
- 5.2 把持力の導出方法 / p107 (0115.jp2)
- 5.3 機械的特性の計測用実験装置の構築 / p112 (0120.jp2)
- 5.4 機械的特性の計測実験結果 / p117 (0125.jp2)
- 5.5 結言 / p122 (0130.jp2)
- 第6章 薄膜微小熱電対を集積化した把持･計測要素の開発 / p124 (0132.jp2)
- 6.1 緒言 / p124 (0132.jp2)
- 6.2 熱計測要素の提案 / p126 (0134.jp2)
- 6.3 製造プロセス / p128 (0136.jp2)
- 6.4 熱計測特性の評価 / p132 (0140.jp2)
- 6.5 熱駆動型把持要素の温度計測への応用 / p140 (0148.jp2)
- 6.6 結言 / p149 (0157.jp2)
- 第7章 結論 / p151 (0159.jp2)
- 7.1 本研究の成果と結論 / p151 (0159.jp2)
- 7.2 今後の課題と展望 / p154 (0162.jp2)
- 付録 / p155 (0163.jp2)
- 参考文献 / p167 (0175.jp2)
- 本論文と関連する学会発表､研究論文､受賞など / p171 (0179.jp2)
- 謝辞 / p176 (0184.jp2)