プラズマ・プロセスにより作製した太陽電池用シリコン薄膜の基礎研究

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著者

    • 亀井, 利浩 カメイ, トシヒロ

書誌事項

タイトル

プラズマ・プロセスにより作製した太陽電池用シリコン薄膜の基礎研究

著者名

亀井, 利浩

著者別名

カメイ, トシヒロ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (理学)

学位授与番号

乙第10291号

学位授与年月日

2000-01-24

注記・抄録

博士論文

新制・論文博士

乙第10291号

論理博第1370号

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 第1章 緒言 / (0008.jp2)
  3. 1.1 はじめに / (0008.jp2)
  4. 1.2 水素化アモルファス・シリコン膜(a-Si:H) / (0011.jp2)
  5. 1.3 微結晶シリコン膜(μc-Si:H) / (0025.jp2)
  6. 1.4 本論文の構成 / (0029.jp2)
  7. 参考文献 / (0032.jp2)
  8. 第2章 a-Si:Hにおける欠陥密度決定機構 / (0047.jp2)
  9. 2.1 背景 / (0047.jp2)
  10. 2.2 低温低速製膜による欠陥密度の低減 / (0061.jp2)
  11. 2.3 ノンドープa-Si:Hにおける間欠堆積の効果 / (0066.jp2)
  12. 2.4 Bドープa-Si:Hにおける間欠堆積の効果 / (0070.jp2)
  13. 2.5 まとめ / (0075.jp2)
  14. 参考文献 / (0076.jp2)
  15. 第3章 a-Si:Hの光劣化と不純物 / (0110.jp2)
  16. 3.1 背景 / (0110.jp2)
  17. 3.2 ウルトラ・クリーン・プラズマ・プロセスの開発 / (0116.jp2)
  18. 3.3 超高純度a-Si:H膜の光劣化特性 / (0128.jp2)
  19. 3.4 まとめ / (0129.jp2)
  20. 参考文献 / (0130.jp2)
  21. 第4章 μc-Si:Hと不純物 / (0147.jp2)
  22. 4.1 背景 / (0147.jp2)
  23. 4.2 低温結晶成長と不純物 / (0149.jp2)
  24. 4.3 欠陥および電気伝導特性と不純物 / (0156.jp2)
  25. 4.4 光安定性 / (0159.jp2)
  26. 4.5 まとめ / (0160.jp2)
  27. 参考文献 / (0162.jp2)
  28. 第5章 a-Si:Hの光劣化の抑制を目指して / (0174.jp2)
  29. 5.1 背景 / (0174.jp2)
  30. 5.2 a-Si:Hへの微結晶埋め込みによる光誘起欠陥抑制 / (0175.jp2)
  31. 5.3 まとめ / (0183.jp2)
  32. 参考文献 / (0185.jp2)
  33. 謝辞と雑感 / (0190.jp2)
  34. A phosphorescence study of jet-cooled xanthone / p354 (0247.jp2)
  35. Temperature and Solvent Dependences of the Zero-Field Splittings and Character of the Triplet States of Methylpyrazines / p7963 (0252.jp2)
  36. POLARIZED ELECTROABSORPTION IN PULSE AND CONTINUOUS LIGHT-SOAKED a-Si:H-STRUCTURAL CHANGE OTHER THAN DEFECT CREATION / p61 (0256.jp2)
  37. 超高純度水素化アモルファスシリコンの作製 / p1 (0263.jp2)
  38. 超高純度水素化アモルファスシリコンの作製-光劣化と不純物の関係は?- / p332 (0274.jp2)
  39. 微結晶シリコン膜成長表面における不純物の微視的役割-大粒径化と低欠陥密度化- / p37 (0281.jp2)
3アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000185059
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000185341
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000349373
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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