反応性クラスタイオンビーム法による酸化チタン薄膜作製と応用に関する研究

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著者

    • 福島, 和則 フクシマ, カズノリ

書誌事項

タイトル

反応性クラスタイオンビーム法による酸化チタン薄膜作製と応用に関する研究

著者名

福島, 和則

著者別名

フクシマ, カズノリ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第10310号

学位授与年月日

2000-01-24

注記・抄録

博士論文

新制・論文博士

乙第10310号

論工博第3484号

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.1 本研究の背景 / p1 (0005.jp2)
  5. 1.2 TiO₂薄膜形成の意義 / p2 (0006.jp2)
  6. 1.3 研究の主題 / p2 (0006.jp2)
  7. 文献 / p4 (0007.jp2)
  8. 第2章 薄膜形成における低エネルギーイオンビーム照射効果の基本的考察 / p5 (0007.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p5 (0007.jp2)
  10. 2.2 イオンによる原子変位しきい値エネルギー / p5 (0007.jp2)
  11. 2.3 スパッタリングが生じるエネルギー領域 / p7 (0008.jp2)
  12. 2.4 低エネルギーイオンによる基本的作用 / p9 (0009.jp2)
  13. 2.5 イオンの持つ電荷の効果 / p9 (0009.jp2)
  14. 2.6 イオンの持つ運動エネルギーの効果 / p11 (0010.jp2)
  15. 2.7 結言 / p14 (0012.jp2)
  16. 文献 / p15 (0012.jp2)
  17. 第3章 クラスタイオンビーム蒸着法 / p17 (0013.jp2)
  18. 3.1 緒言 / p17 (0013.jp2)
  19. 3.2 ICB蒸着装置の構成 / p17 (0013.jp2)
  20. 3.3 ノズルからの蒸気噴出流 / p18 (0014.jp2)
  21. 3.4 クラスターサイズの測定 / p18 (0014.jp2)
  22. 3.5 減速電界法によるノズル源からのCuビームの測定 / p19 (0014.jp2)
  23. 3.6 蒸着初期の島形成 / p22 (0016.jp2)
  24. 3.7 ICB法による良質薄膜形成 / p22 (0016.jp2)
  25. 3.8 反応性クラスタイオンビーム蒸着装置の特性 / p23 (0016.jp2)
  26. 3.9 結言 / p26 (0018.jp2)
  27. 第4章 Ti0₂薄膜の作製と基本的特性 / p29 (0019.jp2)
  28. 4.1 緒言 / p29 (0019.jp2)
  29. 4.2 TiO₂の構造と物性 / p29 (0019.jp2)
  30. 4.3 反応性酸素ガス圧力とTi酸化物 / p34 (0022.jp2)
  31. 4.4 Ti0₂の結晶学的特性 / p37 (0023.jp2)
  32. 4.5 TiO₂表面平坦性 / p37 (0023.jp2)
  33. 4.6 Ti0₂の光学的特性 / p39 (0024.jp2)
  34. 4.7 TiO₂の電気的特性 / p41 (0025.jp2)
  35. 4.8 基板依存性 / p47 (0028.jp2)
  36. 4.9 結言 / p52 (0031.jp2)
  37. 文献 / p53 (0031.jp2)
  38. 第5章 TiO₂薄膜のヘテロエピタキシャル成長 / p54 (0032.jp2)
  39. 5.1 緒言 / p54 (0032.jp2)
  40. 5.2 サファイア基板上のTiO₂ / p54 (0032.jp2)
  41. 5.3 Al基板上のTiO₂薄膜 / p66 (0038.jp2)
  42. 5.4 光学的特性 / p69 (0039.jp2)
  43. 5.5 ヘテロエピタキシャル成長のメカニズム / p69 (0039.jp2)
  44. 5.6 結言 / p72 (0041.jp2)
  45. 文献 / p73 (0041.jp2)
  46. 第6章 エピタキシャルTiO₂薄膜の機械的特性 / p75 (0042.jp2)
  47. 6.1 緒言 / p75 (0042.jp2)
  48. 6.2 実験手順 / p75 (0042.jp2)
  49. 6.3 Ti0₂薄膜のマイクロ硬度 / p78 (0044.jp2)
  50. 6.4 TiO₂薄膜の付着力 / p90 (0050.jp2)
  51. 6.5 結言 / p97 (0053.jp2)
  52. 文献 / p99 (0054.jp2)
  53. 第7章 Au/TiO₂系触媒の創製と触媒反応特性 / p100 (0055.jp2)
  54. 7.1 緒言 / p100 (0055.jp2)
  55. 7.2 AU超微粒子の形成 / p100 (0055.jp2)
  56. 7.3 AU/Ti0₂系のCO酸化反応特性 / p106 (0058.jp2)
  57. 7.4 CO酸化反応のメカニズム / p117 (0063.jp2)
  58. 7.5 結言 / p120 (0065.jp2)
  59. 文献 / p121 (0065.jp2)
  60. 第8章 結論 / p123 (0066.jp2)
  61. 謝辞 / p127 (0068.jp2)
  62. 本論文に関する発表論文 / p128 (0069.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000185078
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000185360
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000349392
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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