エレクトロニクス分野における微細加工技術への湿式成膜の応用
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著者
書誌事項
- タイトル
-
エレクトロニクス分野における微細加工技術への湿式成膜の応用
- 著者名
-
小林, 健
- 著者別名
-
コバヤシ, タケシ
- 学位授与大学
-
関東学院大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第40号
- 学位授与年月日
-
2000-03-24
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / p2 (0003.jp2)
- 序論 / p6 (0007.jp2)
- 1.緒言 / p6 (0007.jp2)
- 2.本研究の目的 / p7 (0008.jp2)
- 3.本論文の構成 / p7 (0008.jp2)
- 4.参考文献 / p9 (0010.jp2)
- 第1章 プリント配線板製造技術への各種銅めっきの応用 / p10 (0011.jp2)
- 第1節 ホルマリンフリー無電解銅めっき / p10 (0011.jp2)
- 1.緒言 / p10 (0011.jp2)
- 2.ホルマリンフリー無電解銅めっきの特徴 / p10 (0011.jp2)
- 3.実験方法 / p13 (0014.jp2)
- 4.実験結果および考察 / p13 (0014.jp2)
- 5.結論 / p16 (0017.jp2)
- 6.参考文献 / p16 (0017.jp2)
- 第2節 次亜りん酸塩を還元剤とする無電解銅めっきによる密着性向上処理 / p17 (0018.jp2)
- 1.緒言 / p17 (0018.jp2)
- 2.実験方法 / p17 (0018.jp2)
- 3.実験結果および考察 / p18 (0019.jp2)
- 4.結論 / p21 (0022.jp2)
- 5.参考文献 / p21 (0022.jp2)
- 第3節 ビルドアップ基板における層間接続密着性に及ぼす諸因子 / p22 (0023.jp2)
- 1.緒言 / p22 (0023.jp2)
- 2.実験方法 / p22 (0023.jp2)
- 3.実験結果および考察 / p23 (0024.jp2)
- 4.結論 / p28 (0029.jp2)
- 5.参考文献 / p29 (0030.jp2)
- 第4節 無電解銅めっきの精密ろ過効果 / p30 (0031.jp2)
- 1.緒言 / p30 (0031.jp2)
- 2.実験方法 / p30 (0031.jp2)
- 3.実験結果および考察 / p31 (0032.jp2)
- 4.結論 / p37 (0038.jp2)
- 5.参考文献 / p37 (0038.jp2)
- 第5節 電気銅めっきによるビアフィリング / p38 (0039.jp2)
- 1.緒言 / p38 (0039.jp2)
- 2.実験方法 / p38 (0039.jp2)
- 3.実験結果および考察 / p39 (0040.jp2)
- 4.結論 / p45 (0046.jp2)
- 5.参考文献 / p46 (0047.jp2)
- 第2章 実装技術への無電解はんだめっきの応用 / p47 (0048.jp2)
- 第1節 置換型無電解はんだめっきの皮膜特性 / p47 (0048.jp2)
- 1.緒言 / p47 (0048.jp2)
- 2.置換型無電解はんだめっきの析出機構 / p47 (0048.jp2)
- 3.実験方法 / p47 (0048.jp2)
- 4.実験結果および考察 / p47 (0048.jp2)
- 5.結論 / p53 (0054.jp2)
- 6.参考文献 / p53 (0054.jp2)
- 第2節 自己触媒型無電解はんだめっき / p54 (0055.jp2)
- 1.緒言 / p54 (0055.jp2)
- 2.実験方法 / p54 (0055.jp2)
- 3.実験結果および考察 / p54 (0055.jp2)
- 4.結論 / p56 (0057.jp2)
- 5.参考文献 / p56 (0057.jp2)
- 第3章 オプトエレクトロニクスへの無電解めっきの応用 / p57 (0058.jp2)
- 第1節 光ファイバ上への無電解めっき / p57 (0058.jp2)
- 1.緒言 / p57 (0058.jp2)
- 2.実験方法 / p57 (0058.jp2)
- 3.実験結果および考察 / p58 (0059.jp2)
- 4.結論 / p62 (0063.jp2)
- 5.参考文献 / p63 (0064.jp2)
- 第2節 微小領域への無電解ニッケルめっき / p64 (0065.jp2)
- 1.緒言 / p64 (0065.jp2)
- 2.近接場光学顕微鏡について / p64 (0065.jp2)
- 3.実験方法 / p65 (0066.jp2)
- 4.実験結果および考察 / p66 (0067.jp2)
- 5.結論 / p70 (0071.jp2)
- 6.参考文献 / p70 (0071.jp2)
- 第3節 無電解銀めっきによる赤外線偏光子の作製 / p71 (0072.jp2)
- 1.緒言 / p71 (0072.jp2)
- 2.光アイソレーターについて / p71 (0072.jp2)
- 3.実験方法 / p72 (0073.jp2)
- 4.実験結果および考察 / p73 (0074.jp2)
- 5.結論 / p76 (0077.jp2)
- 6.参考文献 / p76 (0077.jp2)
- 総括 / p77 (0078.jp2)
- 研究業績 / p79 (0080.jp2)
- 謝辞 / p85 (0086.jp2)