強誘電体K(Ta,Nb)O[3]薄膜の合成と評価

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著者

    • 鈴木, 一行 スズキ, カズユキ

書誌事項

タイトル

強誘電体K(Ta,Nb)O[3]薄膜の合成と評価

著者名

鈴木, 一行

著者別名

スズキ, カズユキ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第4673号

学位授与年月日

2000-03-27

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1-1 はじめに / p1 (0005.jp2)
  4. 1-2 誘電体セラミックス / p2 (0006.jp2)
  5. 1-3 K(Ta,Nb)O₃ / p17 (0013.jp2)
  6. 1-4 薄膜の合成 / p31 (0020.jp2)
  7. 1-5 本研究の目的 / p45 (0027.jp2)
  8. 1-6 文献 / p46 (0028.jp2)
  9. 第2章 K(Ta,Nb)O₃前駆体溶液の調製と構造解析 / p53 (0031.jp2)
  10. 2-1 はじめに / p53 (0031.jp2)
  11. 2-2 実験 / p53 (0031.jp2)
  12. 2-3 結果および考察 / p56 (0033.jp2)
  13. 2-4 結論 / p59 (0034.jp2)
  14. 2-5 文献 / p59 (0034.jp2)
  15. 第3章 K(Ta,Nb)O₃薄膜の合成 / p60 (0035.jp2)
  16. 3-1 はじめに / p60 (0035.jp2)
  17. 3-2 実験 / p60 (0035.jp2)
  18. 3-3 結果および考察 / p67 (0038.jp2)
  19. 3-4 結論 / p78 (0044.jp2)
  20. 3-5 文献 / p78 (0044.jp2)
  21. 第4章 K(Ta,Nb)O₃薄膜の電気的特性の評価 / p79 (0044.jp2)
  22. 4-1 はじめに / p79 (0044.jp2)
  23. 4-2 実験 / p79 (0044.jp2)
  24. 4-3 結果および考察 / p83 (0046.jp2)
  25. 4-4 結論 / p97 (0053.jp2)
  26. 4-5 文献 / p98 (0054.jp2)
  27. 第5章 K(Ta,Nb)O₃薄膜のUVパターニング / p99 (0054.jp2)
  28. 5-1 はじめに / p99 (0054.jp2)
  29. 5-2 実験 / p99 (0054.jp2)
  30. 5-3 結果および考察 / p107 (0058.jp2)
  31. 5-4 結論 / p117 (0063.jp2)
  32. 5-5 文献 / p117 (0063.jp2)
  33. 第6章 総括 / p118 (0064.jp2)
  34. 6-1 結論 / p118 (0064.jp2)
  35. 6-2 今後の課題 / p121 (0065.jp2)
  36. 著者発表論文 / p122 (0066.jp2)
  37. 謝辞 / p123 (0066.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000186293
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000186576
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000350607
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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