シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

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著者

    • 田島, 信宏 タジマ, ノブヒロ

書誌事項

タイトル

シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

著者名

田島, 信宏

著者別名

タジマ, ノブヒロ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第4691号

学位授与年月日

2000-03-27

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0008.jp2)
  3. 1-1 硬質材料 / p1 (0008.jp2)
  4. 1-2 窒化炭素 / p2 (0009.jp2)
  5. 1-3 シールド型アークイオンプレーティング / p5 (0012.jp2)
  6. 1-4 本研究の目的 / p7 (0014.jp2)
  7. 参考文献 / p8 (0015.jp2)
  8. 第2章 作製膜の構造および機械的性質の評価法 / p10 (0017.jp2)
  9. 第1節 構造評価法 / p10 (0017.jp2)
  10. 2-1-1 χ線回折法 / p10 (0017.jp2)
  11. 2-1-2 ラマン散乱分光法 / p10 (0017.jp2)
  12. 2-1-3 フーリエ変換赤外分光法 / p12 (0019.jp2)
  13. 2-1-4 χ線光電子分光法 / p12 (0019.jp2)
  14. 2-1-5 モロフォロジー・膜厚言平価 / p14 (0021.jp2)
  15. 第2節 機械的性質評価法 / p15 (0022.jp2)
  16. 2-2-1 硬度評価法 / p15 (0022.jp2)
  17. 2-2-2 耐摩耗特性言平価法 / p20 (0027.jp2)
  18. 参考文献 / p25 (0032.jp2)
  19. 第3章 ナノインデンテーションによる硬度測定 / p26 (0033.jp2)
  20. 第1節 作製膜硬度の荷重依存性 / p26 (0033.jp2)
  21. 3-1-1 目的 / p26 (0033.jp2)
  22. 3-1-2 実験 / p27 (0034.jp2)
  23. 3-1-3 実験結果および考察 / p27 (0034.jp2)
  24. 3-1-4 結言 / p35 (0042.jp2)
  25. 第2節 作製膜硬度の押し込み速度依存性 / p36 (0043.jp2)
  26. 3-2-1 目的 / p36 (0043.jp2)
  27. 3-2-2 実験 / p36 (0043.jp2)
  28. 3-2-3 実験結果および考察 / p37 (0044.jp2)
  29. 3-2-4 結言 / p45 (0052.jp2)
  30. 第3節 結言 / p46 (0053.jp2)
  31. 参考文献 / p48 (0055.jp2)
  32. 第4章 シールド型アークイオンプレーティングによるアモルファスカーボン薄膜およびアモルファス窒化炭素薄膜の作製と硬度・構造評価 / p49 (0056.jp2)
  33. 第1節 成膜圧力の影響 / p49 (0056.jp2)
  34. 4-1-1 目的 / p49 (0056.jp2)
  35. 4-1-2 実験 / p49 (0056.jp2)
  36. 4-1-3 実験結果および考察 / p51 (0058.jp2)
  37. 4-1-4 結言 / p66 (0073.jp2)
  38. 第2節 基板バイアス電圧の影響 / p67 (0074.jp2)
  39. 4-2-1 目的 / p67 (0074.jp2)
  40. 4-2-2 実験 / p67 (0074.jp2)
  41. 4-2-3 実験結果および考察 / p67 (0074.jp2)
  42. 4-2-4 結言 / p79 (0087.jp2)
  43. 第3節 アルゴンガス混合の影響 / p80 (0088.jp2)
  44. 4-3-1 全圧lPaでの成膜 / p80 (0088.jp2)
  45. 4-3-2 全圧30Paでの成膜 / p89 (0097.jp2)
  46. 第4節 ラングミュアプローブおよび発光分光分析によるプラズマ診断 / p98 (0106.jp2)
  47. 4-4-1 目的 / p98 (0106.jp2)
  48. 4-4-2 実験 / p98 (0106.jp2)
  49. 4-4-3 実験結果および考察 / p100 (0108.jp2)
  50. 4-4-4 結言 / p106 (0114.jp2)
  51. 第5節 結言 / p107 (0115.jp2)
  52. 参考文献 / p109 (0118.jp2)
  53. 第5章 シールド型アークイオンプレーティンにより作製したアモルファスカーボン薄膜およびアモルファス窒化炭素薄膜の耐摩耗特性評価 / p111 (0119.jp2)
  54. 5-1 目的 / p111 (0119.jp2)
  55. 5-2 実験 / p111 (0119.jp2)
  56. 5-2-1 評価膜 / p111 (0119.jp2)
  57. 5-2-2 作製膜の評価法 / p112 (0120.jp2)
  58. 5-3 実験結果および考察 / p112 (0120.jp2)
  59. 5-3-1 アモルファスカーボン薄膜の耐摩耗特性 / p112 (0120.jp2)
  60. 5-3-2 アモルファス窒化炭素薄膜の耐摩耗特性 / p117 (0125.jp2)
  61. 5-3-3 アルゴンガス混合により作製したアモルファス窒化炭素薄膜の耐摩耗特性 / p121 (0129.jp2)
  62. 5-4 結言 / p125 (0133.jp2)
  63. 第6章 総括 / p127 (0135.jp2)
  64. 本研究の内容に関係した論文発表 / p133 (0141.jp2)
  65. 本研究の内容に関係した学会発表 / p134 (0142.jp2)
  66. 謝辞 / p137 (0145.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000186311
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000186594
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000350625
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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