マイクロマシニングによるジャイロスコープとその集積化に関する研究

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著者

    • 藤田, 孝之 フジタ, タカユキ

書誌事項

タイトル

マイクロマシニングによるジャイロスコープとその集積化に関する研究

著者名

藤田, 孝之

著者別名

フジタ, タカユキ

学位授与大学

姫路工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第70号

学位授与年月日

2000-03-24

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p3 (0004.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 第2章 角速度検出原理とその検出システム / p4 (0008.jp2)
  4. 2.1 緒言 / p4 (0008.jp2)
  5. 2.2 コリオリの力と振動型素子 / p5 (0008.jp2)
  6. 2.3 振動質量の運動解析 / p7 (0009.jp2)
  7. 2.4 参照振動 / p17 (0014.jp2)
  8. 2.5 差動参照振動と加速度に対する感度 / p21 (0016.jp2)
  9. 2.6 温度特性に関する考察 / p22 (0017.jp2)
  10. 2.7 信号処理回路 / p23 (0017.jp2)
  11. 2.8 結言 / p28 (0020.jp2)
  12. 第3章 薄板構造ジャイロスコープ / p29 (0020.jp2)
  13. 3.1 緒言 / p29 (0020.jp2)
  14. 3.2 非双共振素子 / p30 (0021.jp2)
  15. 3.3 ニッケルメッキ膜による十字型ジャイロスコープ / p31 (0021.jp2)
  16. 3.4 特性評価 / p40 (0026.jp2)
  17. 3.5 結言 / p53 (0032.jp2)
  18. 第4章 円盤振動型ジャイロスコープ / p54 (0033.jp2)
  19. 4.1 緒言 / p54 (0033.jp2)
  20. 4.2 構造概要 / p55 (0033.jp2)
  21. 4.3 構造設計理論 / p58 (0035.jp2)
  22. 4.4 試作 / p73 (0042.jp2)
  23. 4.5 特性評価 / p76 (0044.jp2)
  24. 4.6 結言 / p94 (0053.jp2)
  25. 第5章 角速度検出のための専用集積回路とそのシステム化 / p95 (0053.jp2)
  26. 5.1 緒言 / p95 (0053.jp2)
  27. 5.2 振動型マイクロジャイロ測定システムの要求仕様と回路設計指針 / p96 (0054.jp2)
  28. 5.3 ASICの設計と評価 / p97 (0054.jp2)
  29. 5.4 参照振動駆動回路の検討 / p123 (0067.jp2)
  30. 5.5 結言 / p127 (0069.jp2)
  31. 第6章 結論 / p128 (0070.jp2)
  32. 謝辞 / p130 (0071.jp2)
  33. 参考文献 / p131 (0071.jp2)
  34. 付録 / p135 (0073.jp2)
  35. A.片持ち梁ジャイロスコープ作製プロセス / p135 (0073.jp2)
  36. B.ニッケルメッキ膜薄板ジャイロスコープ作製プロセス / p139 (0075.jp2)
  37. C.円盤振動型ジャイロスコープ作製プロセス / p141 (0076.jp2)
  38. D.コリオリ力を考慮した周波数応答解析マクロプログラム / p145 (0078.jp2)
  39. E.感度解析と実測データの比較検証 / p148 (0080.jp2)
  40. F.ハードスプリング効果の数値的検証 / p151 (0081.jp2)
  41. G.主要マルチチップサービス機関一覧 / p154 (0083.jp2)
  42. H.マスターチップ(MCS01)SPICEモデルパラメタ / p155 (0083.jp2)
  43. 研究業績 / p156 (0084.jp2)
3アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000186813
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000187096
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000351127
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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