傾斜機能材料のエキシマレーザ加工に関する研究 ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ エキシマレーザ カコウ ニカンスル ケンキュウ
この論文にアクセスする
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
傾斜機能材料のエキシマレーザ加工に関する研究
- タイトル別名
-
ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ エキシマレーザ カコウ ニカンスル ケンキュウ
- 著者名
-
内田, 敬久
- 著者別名
-
ウチダ, ヨシヒサ
- 学位授与大学
-
愛知工業大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第7号
- 学位授与年月日
-
2000-03-18
注記・抄録
博士論文
identifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/2247
目次
- 目次/p1 (3コマ目)
- 第1章 序論/p1 (6コマ目)
- 1.1 本研究の背景と目的/p1 (6コマ目)
- 1.2 本論文の構成/p4 (9コマ目)
- 第2章 エキシマレーザシステム/p6 (11コマ目)
- 2.1 エキシマレーザ/p6 (11コマ目)
- 2.2 ビームスポット形状/p9 (14コマ目)
- 2.3 まとめ/p15 (20コマ目)
- 第3章 傾斜機能材料とレーザ加工特性/p16 (21コマ目)
- 3.1 傾斜機能材料/p16 (21コマ目)
- 3.2 傾斜機能材料加工実験/p23 (28コマ目)
- 3.3 まとめ/p32 (37コマ目)
- 第4章 アブレーションプラズマの光強度特性/p33 (38コマ目)
- 4.1 アブレーション/p33 (38コマ目)
- 4.2 実験方法/p37 (42コマ目)
- 4.3 実験結果と検討/p42 (47コマ目)
- 4.4 まとめ/p54 (59コマ目)
- 第5章 アブレーションプラズマの電子密度特性/p55 (60コマ目)
- 5.1 プラズマ電子密度の各種計測/p55 (60コマ目)
- 5.2 実験方法/p59 (64コマ目)
- 5.3 実験結果と検討/p61 (66コマ目)
- 5.4 まとめ/p67 (72コマ目)
- 第6章 アブレーションプラズマの分光特性および電子温度特性/p68 (73コマ目)
- 6.1 実験方法/p68 (73コマ目)
- 6.2 実験結果と検討/p70 (75コマ目)
- 6.3 プラズマ電子温度の計測/p76 (81コマ目)
- 6.4 電子温度の測定結果と検討/p79 (84コマ目)
- 6.5 まとめ/p84 (89コマ目)
- 第7章 アブレーションプラズマの吸収特性/p85 (90コマ目)
- 7.1 実験方法/p85 (90コマ目)
- 7.2 実験結果と検討/p87 (92コマ目)
- 7.3 吸収係数からの吸収率の計算/p90 (95コマ目)
- 7.4 実験結果と計算結果の比較/p90 (95コマ目)
- 7.5 まとめ/p91 (96コマ目)
- 付録 レーザ光吸収における電子密度分布の影響/p92 (97コマ目)
- 第8章 総括/p93 (98コマ目)
- 参考文献/p96 (101コマ目)
- 謝辞/p101 (106コマ目)
- 学位論文に関する研究発表論文リスト/p102 (107コマ目)
