傾斜機能材料のエキシマレーザ加工に関する研究 ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ エキシマレーザ カコウ ニカンスル ケンキュウ

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著者

    • 内田, 敬久 ウチダ, ヨシヒサ

書誌事項

タイトル

傾斜機能材料のエキシマレーザ加工に関する研究

タイトル別名

ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ エキシマレーザ カコウ ニカンスル ケンキュウ

著者名

内田, 敬久

著者別名

ウチダ, ヨシヒサ

学位授与大学

愛知工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第7号

学位授与年月日

2000-03-18

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景と目的 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 本論文の構成 / p4 (0009.jp2)
  5. 第2章 エキシマレーザシステム / p6 (0011.jp2)
  6. 2.1 エキシマレーザ / p6 (0011.jp2)
  7. 2.2 ビームスポット形状 / p9 (0014.jp2)
  8. 2.3 まとめ / p15 (0020.jp2)
  9. 第3章 傾斜機能材料とレーザ加工特性 / p16 (0021.jp2)
  10. 3.1 傾斜機能材料 / p16 (0021.jp2)
  11. 3.2 傾斜機能材料加工実験 / p23 (0028.jp2)
  12. 3.3 まとめ / p32 (0037.jp2)
  13. 第4章 アブレーションプラズマの光強度特性 / p33 (0038.jp2)
  14. 4.1 アブレーション / p33 (0038.jp2)
  15. 4.2 実験方法 / p37 (0042.jp2)
  16. 4.3 実験結果と検討 / p42 (0047.jp2)
  17. 4.4 まとめ / p54 (0059.jp2)
  18. 第5章 アブレーションプラズマの電子密度特性 / p55 (0060.jp2)
  19. 5.1 プラズマ電子密度の各種計測 / p55 (0060.jp2)
  20. 5.2 実験方法 / p59 (0064.jp2)
  21. 5.3 実験結果と検討 / p61 (0066.jp2)
  22. 5.4 まとめ / p67 (0072.jp2)
  23. 第6章 アブレーションプラズマの分光特性および電子温度特性 / p68 (0073.jp2)
  24. 6.1 実験方法 / p68 (0073.jp2)
  25. 6.2 実験結果と検討 / p70 (0075.jp2)
  26. 6.3 プラズマ電子温度の計測 / p76 (0081.jp2)
  27. 6.4 電子温度の測定結果と検討 / p79 (0084.jp2)
  28. 6.5 まとめ / p84 (0089.jp2)
  29. 第7章 アブレーションプラズマの吸収特性 / p85 (0090.jp2)
  30. 7.1 実験方法 / p85 (0090.jp2)
  31. 7.2 実験結果と検討 / p87 (0092.jp2)
  32. 7.3 吸収係数からの吸収率の計算 / p90 (0095.jp2)
  33. 7.4 実験結果と計算結果の比較 / p90 (0095.jp2)
  34. 7.5 まとめ / p91 (0096.jp2)
  35. 付録 レーザ光吸収における電子密度分布の影響 / p92 (0097.jp2)
  36. 第8章 総括 / p93 (0098.jp2)
  37. 参考文献 / p96 (0101.jp2)
  38. 謝辞 / p101 (0106.jp2)
  39. 学位論文に関する研究発表論文リスト / p102 (0107.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000186987
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000187270
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000351301
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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