リソグラフィ用狭帯域エキシマレーザの開発に関する研究

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著者

    • 榎波, 龍雄 エナミ, タツオ

書誌事項

タイトル

リソグラフィ用狭帯域エキシマレーザの開発に関する研究

著者名

榎波, 龍雄

著者別名

エナミ, タツオ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5220号

学位授与年月日

2000-03-27

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1-1.エキシマレーザの研究開発 / p2 (0007.jp2)
  4. 1-2.エキシマレーザの応用分野 / p3 (0008.jp2)
  5. 1-3.エキシマレーザの基本特性 / p4 (0009.jp2)
  6. 1-4.本研究の意義と要約 / p9 (0014.jp2)
  7. 第2章 狭帯域エキシマレーザの動作解析 / p13 (0018.jp2)
  8. 2-1.発振パルス波形の解析 / p13 (0018.jp2)
  9. 2-2.発振スペクトル波形の解析 / p27 (0032.jp2)
  10. 2-3.発振スペクトル幅の時間変化測定 / p41 (0046.jp2)
  11. 2-4.まとめ / p49 (0054.jp2)
  12. 第3章 XeClエキシマレーザ発振・増幅器の研究 / p53 (0058.jp2)
  13. 3-1.エキシマレーザ発振・増幅器の構成 / p53 (0058.jp2)
  14. 3-2.狭帯域化方式の検討 / p55 (0060.jp2)
  15. 3-3.狭帯域共振器の特性 / p59 (0064.jp2)
  16. 3-4.増幅器の特性 / p61 (0066.jp2)
  17. 3-5.注入同期エキシマレーザシステムの特性 / p66 (0071.jp2)
  18. 3-6.まとめ / p73 (0078.jp2)
  19. 第4章 自己増幅型KrFエキシマレーザの研究 / p74 (0079.jp2)
  20. 4-1.自己増幅型KrFエキシマレーザの構成 / p74 (0079.jp2)
  21. 4-2.狭帯域化方式の検討 / p79 (0084.jp2)
  22. 4-3.自己増幅型共振器の解析 / p82 (0087.jp2)
  23. 4-4.自己増幅型共振器の発振特性 / p89 (0094.jp2)
  24. 4-5.リソグラフィ評価 / p98 (0103.jp2)
  25. 4-6.まとめ / p102 (0107.jp2)
  26. 第5章 半導体リソグラフィ用エキシマレーザ装置 / p107 (0112.jp2)
  27. 5-1.光リソグラフィ技術の動向 / p107 (0112.jp2)
  28. 5-2.リソグラフィ用エキシマレーザ装置の技術動向 / p110 (0115.jp2)
  29. 5-3.リソグラフィ用KrFレーザ装置 / p115 (0120.jp2)
  30. 5-4.リソグラフィ用ArFエキシマレーザ装置 / p125 (0130.jp2)
  31. 5-5.まとめ / p131 (0136.jp2)
  32. 第6章 総括 / p134 (0139.jp2)
  33. 6-1.研究のまとめ / p134 (0139.jp2)
  34. 6-2.今後の展望 / p136 (0141.jp2)
  35. 参考文献 / p139 (0144.jp2)
  36. 謝辞 / p144 (0149.jp2)
5アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000187742
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000188025
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000352056
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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