酸化スズ超微粒子の湿式調整と薄膜型ガスセンサへの応用に関する研究

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著者

    • 白, 南錫 ベク, ナムソク

書誌事項

タイトル

酸化スズ超微粒子の湿式調整と薄膜型ガスセンサへの応用に関する研究

著者名

白, 南錫

著者別名

ベク, ナムソク

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5230号

学位授与年月日

2000-03-27

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 半導体ガスセンサ / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 ガス検知特性の改善方法 / p7 (0012.jp2)
  5. 1.3 金属酸化物微粒子の調製 / p14 (0019.jp2)
  6. 1.4 本研究の目的 / p24 (0029.jp2)
  7. 参考文献 / p25 (0030.jp2)
  8. 第2章 ゾル作製のためのスズ酸沈殿の調製 / p30 (0035.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p30 (0035.jp2)
  10. 2.2 基本的なキャラクタリゼーション法 / p31 (0036.jp2)
  11. 2.3 スズ酸沈澱の調製 / p33 (0038.jp2)
  12. 2.4 水熱処理によるゾルの調製の試み / p41 (0046.jp2)
  13. 2.5 本章のまとめ / p47 (0052.jp2)
  14. 参考文献 / p48 (0053.jp2)
  15. 第3章 水熱処理条件および水熱処理の効果 / p49 (0054.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p49 (0054.jp2)
  17. 3.2 水熱処理条件の検討 / p49 (0054.jp2)
  18. 3.3 異なる酸化スズ含量のゾル調製 / p53 (0058.jp2)
  19. 3.4 水熱処理効果の検討 / p57 (0062.jp2)
  20. 3.5 本章のまとめ / p63 (0068.jp2)
  21. 参考文献 / p64 (0069.jp2)
  22. 第4章 水熱処理ゾルから作製した薄膜型素子のガス検知特性 / p65 (0070.jp2)
  23. 4.1 緒言 / p65 (0070.jp2)
  24. 4.2 実験 / p65 (0070.jp2)
  25. 4.3 焼結体型素子と薄膜型素子のセンサ特性の比較 / p67 (0072.jp2)
  26. 4.4 種々のゾルから作製した薄膜型素子のセンサ特性 / p73 (0078.jp2)
  27. 4.5 本章のまとめ / p79 (0084.jp2)
  28. 参考文献 / p80 (0085.jp2)
  29. 第5章 薄膜型素子のガス検知特性に及ぼす膜厚および粒子径の影響 / p81 (0086.jp2)
  30. 5.1 緒言 / p81 (0086.jp2)
  31. 5.2 基板の選択 / p81 (0086.jp2)
  32. 5.3 薄膜素子の膜厚および微細構造依存性 / p82 (0087.jp2)
  33. 5.4 同一膜厚におけるセンサ特性の粒子径依存性 / p94 (0099.jp2)
  34. 5.5 本章のまとめ / p97 (0102.jp2)
  35. 参考文献 / p98 (0103.jp2)
  36. 第6章 総括 / p99 (0104.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000187752
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000188035
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000352066
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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