リソグラフィー用エキシマレーザー内の放電過程と出力改善に関する研究

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著者

    • 片岡, 直紀 カタオカ, ナオキ

書誌事項

タイトル

リソグラフィー用エキシマレーザー内の放電過程と出力改善に関する研究

著者名

片岡, 直紀

著者別名

カタオカ, ナオキ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5241号

学位授与年月日

2000-03-27

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序諭 / p1 (0008.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景 / p1 (0008.jp2)
  4. 1.2 本研の意義と要約 / p3 (0010.jp2)
  5. 1.3 本論文の構成 / p4 (0011.jp2)
  6. 第2章 エキシマレーザー励起放電における物理・化学的諸過程と研究方法 / p6 (0013.jp2)
  7. 2.1 まえがき / p6 (0013.jp2)
  8. 2.2 気体中の放電過程の概要 / p7 (0014.jp2)
  9. 2.3 エキシマレーザー励起放電内の諸過程 / p20 (0027.jp2)
  10. 2.4 計測法 / p26 (0033.jp2)
  11. 2.5 エキシマレーザーのコンピュータシミュレーション / p34 (0041.jp2)
  12. 第3章 エキシマレーザー用ガスの予備電離特性 / p37 (0044.jp2)
  13. 3.1 まえがき / p37 (0044.jp2)
  14. 3.2 実験方法 / p38 (0045.jp2)
  15. 3.3 実験結果 / p44 (0051.jp2)
  16. 3.4 エキシマレーザー実機内ガスの予備電離特性の改善 / p63 (0070.jp2)
  17. 3.5 結論 / p63 (0070.jp2)
  18. 第4章 エキシマレーザーの特性改善 / p66 (0073.jp2)
  19. 4.1 まえがき / p66 (0073.jp2)
  20. 4.2 実験装置と方法 / p67 (0074.jp2)
  21. 4.3 ガス添加時のレーザー出力の測定 / p72 (0079.jp2)
  22. 4.4 Xe添加がエキシマレーザー内放電へ与える効果の観測 / p74 (0081.jp2)
  23. 4.5 Xe添加の効果を考慮したコンピュータシミュレーション / p80 (0087.jp2)
  24. 4.6 考察 / p80 (0087.jp2)
  25. 4.7 結論 / p84 (0091.jp2)
  26. 第5章 総括 / p85 (0092.jp2)
  27. 参考文献 / p88 (0095.jp2)
  28. 謝辞 / p92 (0099.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000187763
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000188046
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000352077
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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