連続式真空蒸着機の開発とその応用

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著者

    • 伊藤, 義文 イトウ, ヨシフミ

書誌事項

タイトル

連続式真空蒸着機の開発とその応用

著者名

伊藤, 義文

著者別名

イトウ, ヨシフミ

学位授与大学

九州大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第7011号

学位授与年月日

2000-02-24

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 本論文の内容と構成 / p2 (0008.jp2)
  4. 1.2 開発の背景 / p4 (0010.jp2)
  5. 1.3 実用機の概要 / p6 (0012.jp2)
  6. 1.4 主要開発技術 / p11 (0017.jp2)
  7. 1.5 参考文献 / p19 (0025.jp2)
  8. 第2章 連続真空シール技術 / p20 (0026.jp2)
  9. 2.1 序言 / p21 (0027.jp2)
  10. 2.2 連続真空シール装置 / p22 (0028.jp2)
  11. 2.3 差動排気システムの解析モデル / p27 (0033.jp2)
  12. 2.4 解析結果の考察 / p33 (0039.jp2)
  13. 2.5 真空ポンプの排気容量とコストの関係 / p34 (0040.jp2)
  14. 2.6 実用機の性能検証 / p37 (0043.jp2)
  15. 2.7 結言 / p41 (0047.jp2)
  16. 2.8 参考文献 / p42 (0048.jp2)
  17. 第3章 蒸着技術 / p43 (0049.jp2)
  18. 3.1 長尺一体型グラファイトるつぼの蒸発特性 / p44 (0050.jp2)
  19. 3.2 アルミニウム希薄蒸気流のモンテカロ法シミュレーション / p54 (0060.jp2)
  20. 3.3 アルミニウム蒸発浴面の電磁気力利用表面清浄化法 / p62 (0068.jp2)
  21. 3.4 参考文献 / p71 (0077.jp2)
  22. 第4章 アルミニウムの酸化反応蒸着 / p72 (0078.jp2)
  23. 4.1 序言 / p73 (0079.jp2)
  24. 4.2 解析 / p74 (0080.jp2)
  25. 4.3 実験 / p79 (0085.jp2)
  26. 4.4 考察 / p84 (0090.jp2)
  27. 4.5 結言 / p86 (0092.jp2)
  28. 4.6 参考文献 / p87 (0093.jp2)
  29. 第5章 アルミニウム蒸着膜の乾式エッチング加工技術 / p88 (0094.jp2)
  30. 5.1 序言 / p89 (0095.jp2)
  31. 5.2 予備検討と調査 / p90 (0096.jp2)
  32. 5.3 基礎的実験 / p94 (0100.jp2)
  33. 5.4 実用化装置 / p97 (0103.jp2)
  34. 5.5 結言 / p105 (0111.jp2)
  35. 5.6 参考文献 / p106 (0112.jp2)
  36. 第6章 各種蒸着フィルムの特性 / p107 (0113.jp2)
  37. 6.1 序言 / p108 (0114.jp2)
  38. 6.2 超ハイバリヤ蒸着フィルム / p109 (0115.jp2)
  39. 6.3 易洗瓶蒸着ラベル紙 / p117 (0123.jp2)
  40. 6.4 電子レンジ用シールドフィルム / p125 (0131.jp2)
  41. 6.5 結言 / p131 (0137.jp2)
  42. 6.6 参考文献 / p132 (0138.jp2)
  43. 第7章 結論 / p133 (0139.jp2)
  44. 謝辞 / p138 (0144.jp2)
3アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000187820
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000188103
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000352134
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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