Nanoscale observation and analysis of damage formation and annealing processes in ion beam interactions with surfaces イオン・固体表面相互作用による損傷・回復過程のナノスケール観察と解析

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著者

    • 瀬木, 利夫 セキ, トシオ

書誌事項

タイトル

Nanoscale observation and analysis of damage formation and annealing processes in ion beam interactions with surfaces

タイトル別名

イオン・固体表面相互作用による損傷・回復過程のナノスケール観察と解析

著者名

瀬木, 利夫

著者別名

セキ, トシオ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第8325号

学位授与年月日

2000-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. Abstract / p1 (0004.jp2)
  3. Contents / p7 (0007.jp2)
  4. 1 Introduction / p1 (0009.jp2)
  5. 1.1 Surface Observation with STM / p1 (0009.jp2)
  6. 1.2 Ion Beam Technique for Nanoscale Fabrication / p2 (0010.jp2)
  7. 1.3 Cluster Ion Beam Technique / p5 (0011.jp2)
  8. 1.4 Purpose of the Study / p8 (0013.jp2)
  9. 2 Experimental Equipment / p9 (0013.jp2)
  10. 2.1 Introduction / p9 (0013.jp2)
  11. 2.2 STM System / p11 (0014.jp2)
  12. 2.3 Gas Cluster Ion Beam System / p14 (0016.jp2)
  13. 2.4 Carbon Cluster Ion Beam System / p20 (0019.jp2)
  14. 3 Surface Effects by Xe Ion Impact / p27 (0022.jp2)
  15. 3.1 Introduction / p27 (0022.jp2)
  16. 3.2 Si(111) Clean Surface / p27 (0022.jp2)
  17. 3.3 Surface Observation after Xe Ion Irradiation and Annealing / p28 (0023.jp2)
  18. 3.4 Atomic Process by a Single Xe Ion Impact / p33 (0025.jp2)
  19. 3.5 Vacancy Cluster Formation / p35 (0026.jp2)
  20. 3.6 Vacancy Cluster Migration / p43 (0030.jp2)
  21. 3.7 Vacancy Recombination / p48 (0033.jp2)
  22. 3.8 Summary / p57 (0037.jp2)
  23. 4 Surface Effects by Cluster Ion Impact / p59 (0038.jp2)
  24. 4.1 Introduction / p59 (0038.jp2)
  25. 4.2 Large Cluster Ion Impact / p60 (0039.jp2)
  26. 4.3 Small Cluster Ion Impact / p69 (0043.jp2)
  27. 4.4 Size Effect of Carbon Cluster Ion Impact / p80 (0049.jp2)
  28. 4.5 Summary / p89 (0053.jp2)
  29. 5 Ion Irradiation Effects on Initial Stage of Film Formation / p91 (0054.jp2)
  30. 5.1 Introduction / p91 (0054.jp2)
  31. 5.2 Formation of Ge Islands / p92 (0055.jp2)
  32. 5.3 Ion Irradiation Effects on Ge Islands / p100 (0059.jp2)
  33. 5.4 Summary / p108 (0063.jp2)
  34. 6 Summary & Conclusions / p111 (0064.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000188156
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000188439
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000352470
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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