p型InPに対する高信頼性オーミック・コンタクト材の研究

この論文をさがす

著者

    • 山口, 章 ヤマグチ, アキラ

書誌事項

タイトル

p型InPに対する高信頼性オーミック・コンタクト材の研究

著者名

山口, 章

著者別名

ヤマグチ, アキラ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第10402号

学位授与年月日

2000-03-23

注記・抄録

博士論文

新制・論文博士

乙第10402号

論工博第3516号

目次

  1. 論文目録 / (0001.jp2)
  2. 目次 / p4 (0007.jp2)
  3. 1.序論 / p1 (0009.jp2)
  4. 1-1 本研究の背景 / p1 (0009.jp2)
  5. 1-2 オーミック・コンタクトの役割 / p2 (0010.jp2)
  6. 1-3 p型InPオーミック・コンタクトのキャリヤ輸送機構 / p4 (0011.jp2)
  7. 1-4 p型InPに対するオーミック・コンタクト材のレビュー / p12 (0015.jp2)
  8. 1-5 本研究の目的 / p17 (0017.jp2)
  9. 1-6 p型InPに対するオーミック・コンタクト材開発の方針 / p26 (0022.jp2)
  10. 1-7 参考文献 / p40 (0029.jp2)
  11. 2.オーミック・コンタクト材の評価技術 / p45 (0031.jp2)
  12. 2-1 緒言 / p45 (0031.jp2)
  13. 2-2 接触抵抗の評価法 / p45 (0031.jp2)
  14. 2-3 界面微細構造の評価法 / p59 (0038.jp2)
  15. 2-4 結言 / p70 (0044.jp2)
  16. 2-5 参考文献 / p72 (0045.jp2)
  17. 3.AuZnオーミック・コンタクト材の研究 / p74 (0046.jp2)
  18. 3-1 緒言 / p74 (0046.jp2)
  19. 3-2 実験方法 / p74 (0046.jp2)
  20. 3-3 接触抵抗の測定 / p75 (0046.jp2)
  21. 3-4 界面微細構造の解析 / p77 (0047.jp2)
  22. 3-5 界面反応機構と接触抵抗 / p90 (0054.jp2)
  23. 3-6 結言 / p94 (0056.jp2)
  24. 3-7 参考文献 / p95 (0056.jp2)
  25. 4.AuZnオーミック・コンタクト材の改良 / p97 (0057.jp2)
  26. 4-1 緒言 / p97 (0057.jp2)
  27. 4-2 InP表面の自然酸化膜の制御 / p97 (0057.jp2)
  28. 4-3 AuZn(Sb)コンタクト材の作製 / p98 (0058.jp2)
  29. 4-4 考察 / p113 (0065.jp2)
  30. 4-5 PDへの応用における課題 / p117 (0067.jp2)
  31. 4-6 結論 / p120 (0069.jp2)
  32. 4-7 参考文献 / p120 (0069.jp2)
  33. 5.遷移金属基オーミック・コンタクト材の研究 / p123 (0070.jp2)
  34. 5-1 緒言 / p123 (0070.jp2)
  35. 5-2 NiおよびPdとInP界面反応の比較 / p124 (0071.jp2)
  36. 5-3 Zn添加遷移金属基オーミック・コンタクト材の作製 / p144 (0081.jp2)
  37. 5-4 考察 / p156 (0087.jp2)
  38. 5-5 PdZnコンタクト材の問題点 / p163 (0090.jp2)
  39. 5-6 結論 / p166 (0092.jp2)
  40. 5-7 参考文献 / p168 (0093.jp2)
  41. 6.遷移金属基・オーミック・コンタクト材の改良 / p170 (0094.jp2)
  42. 6-1 緒言 / p170 (0094.jp2)
  43. 6-2 PdZnコンタクト材への第一層Sbの添加 / p170 (0094.jp2)
  44. 6-3 考察 / p179 (0098.jp2)
  45. 6-4 PdZn(Sb)コンタクト材のPDへの応用 / p184 (0101.jp2)
  46. 6-5 結論 / p191 (0104.jp2)
  47. 6-6 参考文献 / p192 (0105.jp2)
  48. 7.結論 / p193 (0105.jp2)
  49. 8.謝辞 / p196 (0107.jp2)
  50. 9.本研究に関する発表論文 / p198 (0108.jp2)
4アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000188395
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000188678
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000352709
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ