フォトレジスト用現像液高純度試薬-水酸化テトラメチルアンモニウム-の開発研究 foto rejisutoyo genzoeki kojundo shiyaku suisanka tetoramechiru anmoniumu no kaihatsu kenkyu

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著者

    • 八木, 修 ヤギ, オサム

書誌事項

タイトル

フォトレジスト用現像液高純度試薬-水酸化テトラメチルアンモニウム-の開発研究

タイトル別名

foto rejisutoyo genzoeki kojundo shiyaku suisanka tetoramechiru anmoniumu no kaihatsu kenkyu

著者名

八木, 修

著者別名

ヤギ, オサム

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第1477号

学位授与年月日

1999-06-17

注記・抄録

博士論文

制度:新 ; 文部省報告番号:乙1477号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:1999-06-17 ; 早大学位記番号:新2859 ; 理工学図書館請求番号:2393

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第一章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 第二章 水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)の一般的性質、利用例、及び従来法によるTMAH合成とその問題点 / p4 (0007.jp2)
  4. 第一節 半導体用現像液としてのTMAH / p4 (0007.jp2)
  5. (1)TMAHの一般的性質 / p4 (0007.jp2)
  6. (2)半導体用現像液 / p5 (0007.jp2)
  7. (3)従来法によるTMAH合成法とその問題点 / p9 (0009.jp2)
  8. 第二節 TMAHの一般的使用例 / p12 (0011.jp2)
  9. (1)分析用試薬 / p12 (0011.jp2)
  10. (2)ゼオライト・モレキュラーシーブス合成触媒 / p14 (0012.jp2)
  11. (3)有機合成用試薬 / p15 (0012.jp2)
  12. (4)ソル・ゲル用触媒 / p17 (0013.jp2)
  13. (5)コンデンサー用電解液 / p18 (0014.jp2)
  14. (6)その他 / p18 (0014.jp2)
  15. 第三節 第二章まとめ / p19 (0014.jp2)
  16. 第三章 高純度水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)水溶液の合成法 / p20 (0015.jp2)
  17. 第一節 ギ酸塩を合成中間体とする、高純度TMAH水溶液の合成法 / p20 (0015.jp2)
  18. (1)合成戦略 / p20 (0015.jp2)
  19. (2)ギ酸テトラメチルアンモニウム(TMAF)の合成 / p22 (0016.jp2)
  20. (3)ギ酸テトラメチルアンモニウム(TMAF)の電気分解による水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)溶液の合成 / p26 (0018.jp2)
  21. (4)第一節まとめ / p32 (0021.jp2)
  22. 第二節 炭酸水素塩を合成中間体とする、高純度TMAH水溶液の合成法 / p34 (0022.jp2)
  23. (1)合成戦略 / p34 (0022.jp2)
  24. (2)炭酸水素テトラメチルアンモニウム(TMAC)の合成 / p35 (0022.jp2)
  25. (3)炭酸水素テトラメチルアンモニウム(TMAC)の電気分解による水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)水溶液の合成 / p42 (0026.jp2)
  26. (4)第二節まとめ / p45 (0027.jp2)
  27. 第三節 テトラメチルアンモニウムイオン及び陰イオンの電解膜透過性 / p47 (0028.jp2)
  28. (1)テトラメチルアンモニウムイオンの電解膜透過性 / p47 (0028.jp2)
  29. (2)陰イオンの電解膜透過性 / p50 (0030.jp2)
  30. (3)第三節まとめ / p54 (0032.jp2)
  31. 第四節 陽極板としてのニッケル板の有効性 / p55 (0032.jp2)
  32. (1)各種陽イオンの電解膜透過性 / p55 (0032.jp2)
  33. (2)陽極としてのニッケル板の実用性 / p59 (0034.jp2)
  34. (3)第四節まとめ / p63 (0036.jp2)
  35. 第五節 第三章まとめ / p64 (0037.jp2)
  36. 実験項 / p66 (0038.jp2)
  37. 第四章 高純度試薬水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)を利用した石英ガラス合成 / p73 (0041.jp2)
  38. 第一節 序論 / p73 (0041.jp2)
  39. 第二節 合成戦略 / p79 (0044.jp2)
  40. 第三節 テトラアルコキシシラン中の未反応で残るアルコキシ基の熱分解温度 / p83 (0046.jp2)
  41. 第四節 バインダー液調製及び成形体作成 / p85 (0047.jp2)
  42. 第五節 乾燥過程の検討 / p93 (0051.jp2)
  43. 第六節 スラリー調製時の全反応水量の検討 / p95 (0052.jp2)
  44. 第七節 バインダー調製用触媒及びスラリー硬化用触媒の再検討 / p101 (0055.jp2)
  45. 第八節 バインダー調製用触媒及び成形体作成時のTMAHの効果 / p108 (0059.jp2)
  46. 第九節 第四章まとめ / p115 (0062.jp2)
  47. 実験項 / p117 (0063.jp2)
  48. 第五章 総括 / p122 (0066.jp2)
  49. 参考文献 / p124 (0067.jp2)
5アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000188529
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000188812
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000352843
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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