構造用セラミックスの応力および亀裂を検出するLiNbO3圧電体配向薄膜に関する研究 コウゾウヨウ セラミックス ノ オウリョク オヨビ キレツ オ ケンシュツ スル LiNbO3 アツデンタイ ハイコウ ハクマク ニ カンスル ケンキュウ
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著者
書誌事項
- タイトル
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構造用セラミックスの応力および亀裂を検出するLiNbO3圧電体配向薄膜に関する研究
- タイトル別名
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コウゾウヨウ セラミックス ノ オウリョク オヨビ キレツ オ ケンシュツ スル LiNbO3 アツデンタイ ハイコウ ハクマク ニ カンスル ケンキュウ
- 著者名
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臼井, 一郎
- 著者別名
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ウスイ, イチロウ
- 学位授与大学
-
佐賀大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第127号
- 学位授与年月日
-
2000-03-23
注記・抄録
博士論文
Thesis
目次
- 第1章 緒論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 緒言 / p1 (0005.jp2)
- 1.2 構造用セラミックスの応力および亀裂を検知する方法に関する従来の研究 / p4 (0007.jp2)
- 1.3 rfマグネトロンスパッタリング法による配向性薄膜の作成および配向機構に関する従来の研究 / p5 (0007.jp2)
- 1.4 本研究の目的 / p7 (0008.jp2)
- 1.5 本論文の構成と概要 / p8 (0009.jp2)
- 第1章の参考文献 / p10 (0010.jp2)
- 第2章 多結晶体の構造用セラミックス上へのLiNbO₃圧電体配向性薄膜の形成と分極方向の最適化 / p11 (0010.jp2)
- 2.1 緒言 / p11 (0010.jp2)
- 2.2 実験方法 / p11 (0010.jp2)
- 2.3 結果および考察 / p18 (0014.jp2)
- 2.4 結言 / p26 (0018.jp2)
- 第2章の参考文献 / p26 (0018.jp2)
- 第3章 LiNbO₃圧電体配向性薄膜の配向機構の解明 / p27 (0018.jp2)
- 3.1 緒言 / p27 (0018.jp2)
- 3.2 電子顕微鏡観察用試料作製方法 / p27 (0018.jp2)
- 3.3 電子顕微鏡による界面構造の観察結果および考察 / p27 (0018.jp2)
- 3.4 結言 / p33 (0021.jp2)
- 第3章の参考文献 / p33 (0021.jp2)
- 第4章 LiNbO₃圧電体配向性薄膜の電気的特性の評価 / p35 (0022.jp2)
- 4.1 緒言 / p35 (0022.jp2)
- 4.2 実験方法 / p35 (0022.jp2)
- 4.3 結果および考察 / p37 (0023.jp2)
- 4.4 結言 / p42 (0026.jp2)
- 第4章の参考文献 / p42 (0026.jp2)
- 第5章 LiNbO₃圧電体配向性薄膜による応力検知 / p43 (0026.jp2)
- 5.1 緒言 / p43 (0026.jp2)
- 5.2 実験方法 / p43 (0026.jp2)
- 5.3 結果および考察 / p47 (0028.jp2)
- 5.4 結言 / p57 (0033.jp2)
- 第5章の参考文献 / p57 (0033.jp2)
- 第6章 LiNbO₃圧電体薄膜の切削工具への応用 / p59 (0034.jp2)
- 6.1 緒言 / p59 (0034.jp2)
- 6.2 実験方法 / p60 (0035.jp2)
- 6.3 結果および考察 / p62 (0036.jp2)
- 6.4 結言 / p65 (0037.jp2)
- 第6章の参考文献 / p65 (0037.jp2)
- 第7章 総括 / p67 (0038.jp2)
- 謝辞 / p70 (0040.jp2)