イオンビーム・ミキシング法によるセラミックス薄膜作製とその特性に関する研究

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著者

    • 嶋, 由加里 シマ, ユカリ

書誌事項

タイトル

イオンビーム・ミキシング法によるセラミックス薄膜作製とその特性に関する研究

著者名

嶋, 由加里

著者別名

シマ, ユカリ

学位授与大学

佐賀大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第129号

学位授与年月日

2000-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 研究の背景 / p2 (0007.jp2)
  5. 1.3 本研究の内容と特色 / p4 (0009.jp2)
  6. 第2章 イオンビーム・ミキシング法による薄膜作製の原理 / p6 (0011.jp2)
  7. 2.1 はじめに / p6 (0011.jp2)
  8. 2.2 イオン,プラズマおよびイオンビーム / p6 (0011.jp2)
  9. 2.3 イオンビーム工学技術を利用した薄膜作製法 / p10 (0015.jp2)
  10. 2.4 イオンビーム・ミキシング法 / p16 (0021.jp2)
  11. 2.5 まとめ / p25 (0030.jp2)
  12. 第3章 実験方法 / p26 (0031.jp2)
  13. 3.1 はじめに / p26 (0031.jp2)
  14. 3.2 RFスパッタリング装置 / p26 (0031.jp2)
  15. 3.3 イオンビーム照射装置 / p28 (0033.jp2)
  16. 3.4 イオンビーム・ミキシング装置 / p30 (0035.jp2)
  17. 3.5 X線を用いた薄膜の特性評価法 / p32 (0037.jp2)
  18. 3.6 薄膜の内部応力測定法 / p36 (0041.jp2)
  19. 3.7 薄膜の密着性評価法 / p38 (0043.jp2)
  20. 3.8 薄膜の硬さ測定法 / p42 (0047.jp2)
  21. 3.9 薄膜の耐食性試験法 / p44 (0049.jp2)
  22. 3.10 まとめ / p51 (0056.jp2)
  23. 第4章 窒化チタン薄膜作製と特性評価 / p52 (0057.jp2)
  24. 4.1 はじめに / p52 (0057.jp2)
  25. 4.2 スタティック・イオンミキシング法による薄膜作製 / p52 (0057.jp2)
  26. 4.3 実験結果および考察 / p56 (0061.jp2)
  27. 4.4 まとめ / p64 (0069.jp2)
  28. 第5章 窒化ケイ素薄膜作製と特性評価 / p65 (0070.jp2)
  29. 5.1 はじめに / p65 (0070.jp2)
  30. 5.2 スタティック・イオンミキシング法による薄膜作製 / p65 (0070.jp2)
  31. 5.3 実験結果および考察 / p70 (0075.jp2)
  32. 5.4 まとめ / p80 (0085.jp2)
  33. 第6章 ジルコニア薄膜作製と特性評価 / p81 (0086.jp2)
  34. 6.1 はじめに / p81 (0086.jp2)
  35. 6.2 ダイナミック・イオンミキシング法による薄膜作製 / p81 (0086.jp2)
  36. 6.3 実験結果および考察 / p83 (0088.jp2)
  37. 6.4 まとめ / p95 (0100.jp2)
  38. 第7章 酸窒化チタン薄膜作製と特性評価 / p96 (0101.jp2)
  39. 7.1 はじめに / p96 (0101.jp2)
  40. 7.2 ダイナミック・イオンミキシング法による薄膜作製 / p96 (0101.jp2)
  41. 7.3 実験結果および考察 / p100 (0105.jp2)
  42. 7.4 まとめ / p111 (0116.jp2)
  43. 第8章 酸窒化ケイ素薄膜作製と特性評価 / p112 (0117.jp2)
  44. 8.1 はじめに / p112 (0117.jp2)
  45. 8.2 ダイナミック・イオンミキシング法による薄膜作製 / p112 (0117.jp2)
  46. 8.3 実験結果および考察 / p120 (0125.jp2)
  47. 8.4 まとめ / p135 (0140.jp2)
  48. 第9章 結論 / p136 (0141.jp2)
  49. 謝辞 / p140 (0145.jp2)
  50. 参考文献 / p141 (0146.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000188897
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000189180
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000353211
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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