液相堆積シリコン酸化膜の集積回路への応用

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著者

    • Chanthamaly, Phonekeo チャンタマリー, ポーンケオ

書誌事項

タイトル

液相堆積シリコン酸化膜の集積回路への応用

著者名

Chanthamaly, Phonekeo

著者別名

チャンタマリー, ポーンケオ

学位授与大学

横浜国立大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第401号

学位授与年月日

2000-03-23

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p5 (0005.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 背景 / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 超集積回路の21世紀への課題 / p4 (0009.jp2)
  5. 1.3 低温プロセスの必要性 / p12 (0013.jp2)
  6. 1.4 研究の目的 / p14 (0014.jp2)
  7. 1.5 論文の構成 / p15 (0014.jp2)
  8. 第2章 液相堆積法における化学的反応メカニズム / p17 (0015.jp2)
  9. 2.1 成膜原理 / p17 (0015.jp2)
  10. 2.2 液相堆積法の成膜装置と堆積手法 / p24 (0019.jp2)
  11. 第3章 LPD-SiO₂:F膜の成膜について / p28 (0021.jp2)
  12. 3.1 ケミカルの前処理による成膜について / p28 (0021.jp2)
  13. 3.2 熱による前処理について / p35 (0024.jp2)
  14. 3.3 基板を準備する条件について / p37 (0025.jp2)
  15. 第4章 LPD-SiO₂:F膜の構造分析 / p38 (0026.jp2)
  16. 4.1 エリプソメトリ法によるLPD-SiO₂:F膜の構造解析 / p38 (0026.jp2)
  17. 4.2 赤外吸収法のスペクトルによるLPD-SiO₂:Fの中に存在する原子と原子の構造解析 / p43 (0028.jp2)
  18. 4.3 XPS法による膜中の原子ボンドの強度エネルギーと各原子の含有率 / p56 (0035.jp2)
  19. 4.4 AFM測定結果によるLPD-SiO₂:F膜の表面形状 / p65 (0039.jp2)
  20. 4.5 LPD-SiO₂:F膜の基本特性、他の形成法によるSiO₂膜との比較 / p71 (0042.jp2)
  21. 4.6 Si基板の堆積済の表面色からLPD-SiO₂:F膜厚を判断することについて / p72 (0043.jp2)
  22. 第5章 LPD-SiO₂:F膜の電気的特性 / p73 (0043.jp2)
  23. 5.1 C-V,I-Vによる電気的特性の評価 / p74 (0044.jp2)
  24. 5.2 水溶液の高さに依存する電気的特性 / p77 (0045.jp2)
  25. 5.3 異なるH₂SiF₆によるMOSダイオードの電気的特性 / p90 (0052.jp2)
  26. 5.4 MOMの構造に基づいての電気的特性 / p105 (0059.jp2)
  27. 5.5 MOOSの構造に基づいての電気的特性 / p112 (0063.jp2)
  28. 第6章 LPD-SiO₂:F膜の比誘電率 / p118 (0066.jp2)
  29. 6.1 H₂SiF₆の濃度によるLPD-SiO₂:F膜の比誘電率の変化 / p118 (0066.jp2)
  30. 6.2 層間絶縁膜としてのLPD法とCVD法との比較 / p121 (0067.jp2)
  31. 6.3 LPD-SiO₂:F膜の分子構造のモデル / p122 (0068.jp2)
  32. 第7章 LPD法による平坦化とステップカバレージ / p125 (0069.jp2)
  33. 7.1 LPD法での平坦化 / p125 (0069.jp2)
  34. 7.2 ステップカバレージ / p127 (0070.jp2)
  35. 7.3 LPD-SiO₂:F膜を利用して、可能になるプロセス / p128 (0071.jp2)
  36. 7.4 LPD-SiO₂:F膜を用いて、多層技術の課題を解決する方針とそのメリット / p130 (0072.jp2)
  37. 第8章 結言 / p138 (0076.jp2)
  38. 参考文献 / p141 (0077.jp2)
  39. 謝辞 / p147 (0080.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000189063
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000189346
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000353377
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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