プラズマ励起を利用したMBE法によるGaN結晶成長とプラズマ励起効果に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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プラズマ励起を利用したMBE法によるGaN結晶成長とプラズマ励起効果に関する研究
- 著者名
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千葉, 恭男
- 著者別名
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チバ, ヤスオ
- 学位授与大学
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立命館大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第162号
- 学位授与年月日
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2000-03-31
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / 目次1 / (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 本研究の背景 / p2 (0006.jp2)
- 1.2 本研究の目的 / p4 (0007.jp2)
- 1.3 本論文の構成 / p5 (0007.jp2)
- 第1章参考文献 / p6 (0008.jp2)
- 第2章 ECR-MBE成長法と発光分光分析 / p9 (0009.jp2)
- 2.1 緒言 / p10 (0010.jp2)
- 2.2 ECR-MBE装置 / p11 (0010.jp2)
- 2.3 ECR-MBE成長 / p14 (0012.jp2)
- 2.4 GaNエピタキシャル層の評価 / p19 (0014.jp2)
- 2.5 発光分光分析装置と分光記号 / p23 (0016.jp2)
- 2.6 結言 / p29 (0019.jp2)
- 第2章参考文献 / p30 (0020.jp2)
- 第3章 発光分光分析のその場観察法としての有効性 / p31 (0020.jp2)
- 3.1 緒言 / p32 (0021.jp2)
- 3.2 窒素プラズマの発光分光分析 / p34 (0022.jp2)
- 3.3 ヘリウム･窒素混合プラズマの発光分光分析 / p44 (0027.jp2)
- 3.4 GaN結晶成長中の発光分光分析 / p50 (0030.jp2)
- 3.5 ヘリウム･窒素混合プラズマを用いたGaN結晶成長 / p59 (0034.jp2)
- 3.6 結言 / p61 (0035.jp2)
- 第3章参考文献 / p62 (0036.jp2)
- 第4章 水素･窒素混合プラズマを用いたGaNの結晶成長とその構造評価 / p65 (0037.jp2)
- 4.1 緒言 / p66 (0038.jp2)
- 4.2 水素･窒素混合プラズマを用いたGaN結晶成長 / p69 (0039.jp2)
- 4.3 GaN表面及び断面の電子顕微鏡観察 / p85 (0047.jp2)
- 4.4 結言 / p103 (0056.jp2)
- 第4章 参考文献 / p104 (0057.jp2)
- 第5章 結論 / p109 (0059.jp2)
- 謝辞 / p113 (0061.jp2)
- 研究業績一覧 / p114 (0062.jp2)