ウッドセラミックスから作成した炭素薄膜に関する研究

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著者

    • 葛西, 清和 カサイ, キヨカズ

書誌事項

タイトル

ウッドセラミックスから作成した炭素薄膜に関する研究

著者名

葛西, 清和

著者別名

カサイ, キヨカズ

学位授与大学

芝浦工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第13号

学位授与年月日

2000-03-18

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0006.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0010.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0010.jp2)
  4. 1.2 炭素材料の構造 / p6 (0015.jp2)
  5. 1.3 炭素薄膜の研究と応用の現状 / p10 (0019.jp2)
  6. 1.4 ウッドセラミックスとは / p18 (0027.jp2)
  7. 1.5 ウッドセラミックスに関する研究の現状と課題 / p19 (0028.jp2)
  8. 1.6 ウッドセラミックスからの炭素薄膜研究の必要性と意義 / p21 (0030.jp2)
  9. 1.7 本研究の目的と本論文の構成 / p28 (0037.jp2)
  10. 第2章 ウッドセラミックスパルタの電気的特性 / p31 (0040.jp2)
  11. 2.1 緒言 / p31 (0040.jp2)
  12. 2.2 ウッドセラミックスバルクの製造法 / p32 (0041.jp2)
  13. 2.3 ウッドセラミックスパルタのスパッタリング用ターゲット材料としての検討とターゲットの製作 / p39 (0048.jp2)
  14. 2.4 ウッドセラミックスバルクの電気的特性と湿度センサ特性 / p40 (0049.jp2)
  15. 2.5 結言 / p60 (0069.jp2)
  16. 第3章 高周波スパッタリングによるウッドセラミックスからの炭素薄膜の作成と評価 / p62 (0071.jp2)
  17. 3.1 緒言 / p62 (0071.jp2)
  18. 3.2 スパッタリングの原理と特徴 / p63 (0072.jp2)
  19. 3.3 高周波スパッタリングによるウッドセラミックスからの炭素薄膜の作成 / p65 (0074.jp2)
  20. 3.4 高周波スパッタリングによるウッドセラミックスからの炭素薄膜の特性 / p69 (0078.jp2)
  21. 3.5 高周波スパッタリングによるウッドセラミックスからの炭素薄膜の構造解析 / p76 (0085.jp2)
  22. 3.6 結言 / p81 (0090.jp2)
  23. 第4章 高周波マグネトロンスパッタリングによるウッドセラミックスからの炭素薄膜の作成 / p83 (0092.jp2)
  24. 4.1 緒言 / p83 (0092.jp2)
  25. 4.2 マグネトロンスパッタリングの原理と特徴 / p84 (0093.jp2)
  26. 4.3 高周波マグネトロンスパッタリングによるウッドセラミックスからの炭素薄膜の作成 / p86 (0095.jp2)
  27. 4.4 考察 / p91 (0100.jp2)
  28. 4.5 結言 / p93 (0102.jp2)
  29. 第5章 高周波マグネトロンスパッタリングによるウッドセラミックスからの炭素薄膜の諸特性 / p95 (0104.jp2)
  30. 5.1 緒言 / p95 (0104.jp2)
  31. 5.2 実験方法 / p96 (0105.jp2)
  32. 5.3 結果 / p100 (0109.jp2)
  33. 5.4 考察 / p119 (0128.jp2)
  34. 5.5 結言 / p137 (0146.jp2)
  35. 第6章 高周波マグネトロンスパッタリングによるウッドセラミックスからの炭素薄膜の構造解析 / p141 (0150.jp2)
  36. 6.1 緒言 / p141 (0150.jp2)
  37. 6.2 実験方法 / p142 (0151.jp2)
  38. 6.3 結果 / p143 (0152.jp2)
  39. 6.4 考察 / p147 (0156.jp2)
  40. 6.5 結言 / p149 (0158.jp2)
  41. 第7章 結論 / p151 (0160.jp2)
  42. 7.1 本研究で得られた成果 / p151 (0160.jp2)
  43. 7.2 ウッドセラミックスからの炭素薄膜の工学的応用と課題 / p155 (0164.jp2)
  44. 7.3 新しいa-C:H膜作成法としての検討と課題 / p161 (0170.jp2)
  45. 7.4 ウッドセラミックスのターゲット材料としての検討と課題 / p161 (0170.jp2)
  46. 7.5 結び / p162 (0171.jp2)
  47. 参考文献 / p164 (0173.jp2)
  48. 本論文に関する論文報告等 / p172 (0181.jp2)
  49. 謝辞 / (0184.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000189143
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000189426
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000353457
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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