New specimen preparation methods for high-resolution electron microscopy and compositional analysis of a DRAM

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著者

    • 川崎, 正博 カワサキ, マサヒロ

書誌事項

タイトル

New specimen preparation methods for high-resolution electron microscopy and compositional analysis of a DRAM

著者名

川崎, 正博

著者別名

カワサキ, マサヒロ

学位授与大学

京都工芸繊維大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第72号

学位授与年月日

1998-11-24

注記・抄録

博士論文

目次

  1. Contents / p19 (0020.jp2)
  2. Chapter1 / p1 (0022.jp2)
  3. New specimen preparation methods / p1 (0022.jp2)
  4. 1-1.Photo-resist method / p5 (0026.jp2)
  5. 1-2.Ni(P) electroless plating method / p19 (0040.jp2)
  6. 1-3.Ion digging method / p35 (0056.jp2)
  7. References / p51 (0072.jp2)
  8. Chapter2 / p54 (0075.jp2)
  9. Compositional analysis of a DRAM / p54 (0075.jp2)
  10. 2-1.EDS analysis with FE-TEM / p56 (0077.jp2)
  11. 2-2.EELS, EF-TEM and HAADF-STEM analysis with FE-TEM / p76 (0097.jp2)
  12. References / p106 (0127.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000189202
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000189485
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000353516
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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