Si-L[2,3]線を利用した金属silicide/Si接合系試料の定量分析

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著者

    • 木下, 明将 キノシタ, アキマサ

書誌事項

タイトル

Si-L[2,3]線を利用した金属silicide/Si接合系試料の定量分析

著者名

木下, 明将

著者別名

キノシタ, アキマサ

学位授与大学

岡山大学

取得学位

博士 (理学)

学位授与番号

甲第2041号

学位授与年月日

2000-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0004.jp2)
  2. 第1章.序論 / p4 (0006.jp2)
  3. 1.1.X線発光分析による定量分析 / p4 (0006.jp2)
  4. 1.2.シリサイド(silicide) / p9 (0008.jp2)
  5. 1.3.silicide/Si接合系試料の定量分析 / p11 (0009.jp2)
  6. 1.4.本論文の構成 / p13 (0010.jp2)
  7. 第2章.MCSによるφ(pz)の算出法 / p15 (0011.jp2)
  8. 2.1.弾性散乱 / p17 (0012.jp2)
  9. 2.2.阻止能 / p28 (0018.jp2)
  10. 2.3.非弾性散乱 / p31 (0019.jp2)
  11. 2.4.X線放出 / p45 (0026.jp2)
  12. 第3章.計算 / p48 (0028.jp2)
  13. 3.1.発生関数φ(pz) / p48 (0028.jp2)
  14. 3.2.境界条件 / p53 (0030.jp2)
  15. 3.3.乱数 / p54 (0031.jp2)
  16. 3.4.φ(pz)の精度 / p55 (0031.jp2)
  17. 3.5.吸収 / p58 (0033.jp2)
  18. 3.6.計算プログラム / p60 (0034.jp2)
  19. 第4章.SXES分析と試料作製 / p66 (0037.jp2)
  20. 4.1.特性X線 / p66 (0037.jp2)
  21. 4.2.SXES装置 / p68 (0038.jp2)
  22. 4.3.SXES測定 / p69 (0038.jp2)
  23. 4.4.バックグラウンド / p73 (0040.jp2)
  24. 4.5.Si-L₂,₃線スペクトルの規格化 / p75 (0041.jp2)
  25. 4.6.Si-L₂,₃線スペクトルの単位電流強度 / p76 (0042.jp2)
  26. 4.7.Si-L₂,₃線スペクトルの合成比 / p77 (0042.jp2)
  27. 4.8.Si-L₂,₃線スペクトル解析プログラム / p78 (0043.jp2)
  28. 4.9.試料作製 / p79 (0043.jp2)
  29. 4.10.金属膜と反応後のシリサイド膜 / p82 (0045.jp2)
  30. 第5章.silicides/Si系の定量分析 / p83 (0045.jp2)
  31. 5.1.序論 / p83 (0045.jp2)
  32. 5.2.φ(pz)の計算と処理 / p84 (0046.jp2)
  33. 5.3.スペクトル比と定量分析 / p86 (0047.jp2)
  34. 第6章.Metal/silicide/Si系の定量分析 / p103 (0055.jp2)
  35. 6.1.序論 / p103 (0055.jp2)
  36. 6.2.Ni/NiSi₂/Si接合系試料の定量分析 / p103 (0055.jp2)
  37. 第7章.標準試料を使わない定量分析 / p112 (0060.jp2)
  38. 7.1.序章 / p112 (0060.jp2)
  39. 7.2.計算法 / p112 (0060.jp2)
  40. 7.3.分析 / p116 (0062.jp2)
  41. 第8章.silicide/silicide/Si系の定量分析 / p122 (0065.jp2)
  42. 8.1.序論 / p122 (0065.jp2)
  43. 8.2.NiSi/NiSi₂/Si系の定量分析 / p122 (0065.jp2)
  44. 第9章.総括 / p131 (0069.jp2)
  45. 謝辞 / p132 (0070.jp2)
  46. 付録1:論文中にでてくる変数・関数・定数一覧 / p133 (0070.jp2)
  47. 付録2:電子の運動領域 / p136 (0072.jp2)
  48. 付録3:Gaussian関数近似式によるφ(pz) / p138 (0073.jp2)
  49. 付録4:結晶構造 / p140 (0074.jp2)
  50. 付録5:軟X線領域の吸収係数 / p141 (0074.jp2)
  51. 付録6:いくつかの元素に対する電子の束縛エネルギー / p146 (0077.jp2)
  52. 参考文献 / p148 (0078.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000189302
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000189585
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000353616
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
    • NDLデジタルコレクション
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