CZ(Czochralski)-シリコン単結晶中に形成される欠陥-OSF核及びその他の欠陥-の結晶成長時における挙動
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著者
書誌事項
- タイトル
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CZ(Czochralski)-シリコン単結晶中に形成される欠陥-OSF核及びその他の欠陥-の結晶成長時における挙動
- 著者名
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原田, 和浩
- 著者別名
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ハラダ, カズヒロ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第8156号
- 学位授与年月日
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2001-09-12
注記・抄録
博士論文
CZ(Czochralski)-シリコン単結晶中に形成される欠陥-OSF核及びその他の欠陥-の結晶成長時における挙動
原田, 和浩
ハラダ, カズヒロ
東北大学
博士 (工学)
甲第8156号
2001-09-12
博士論文
