多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究 A study of influence due to the external evironments on electrical performance in polycrystalline silicon thin film resistors タケッショウ シリコン ハクマク テイコウ ニ タイスル ガイブ カンキョウ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
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著者
書誌事項
- タイトル
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多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究
- タイトル別名
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A study of influence due to the external evironments on electrical performance in polycrystalline silicon thin film resistors
- タイトル別名
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タケッショウ シリコン ハクマク テイコウ ニ タイスル ガイブ カンキョウ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者名
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中林, 正和
- 著者別名
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ナカバヤシ, マサカズ
- 学位授与大学
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熊本大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第164号
- 学位授与年月日
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2002-03-22
注記・抄録
博士論文