シリコン大規模集積回路のための電極及び配線に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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シリコン大規模集積回路のための電極及び配線に関する研究
- 著者名
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嶋, 昇平
- 著者別名
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シマ, ショウヘイ
- 学位授与大学
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名古屋工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第186号
- 学位授与年月日
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2002-12-25
注記・抄録
博士論文
シリコン大規模集積回路のための電極及び配線に関する研究
嶋, 昇平
シマ, ショウヘイ
名古屋工業大学
博士 (工学)
乙第186号
2002-12-25
博士論文