絶縁膜上のシリコンMOSFETの信頼性とLSI応用に関する研究 : 多結晶シリコンTFTとSOIデバイス
この論文をさがす
著者
書誌事項
- タイトル
-
絶縁膜上のシリコンMOSFETの信頼性とLSI応用に関する研究 : 多結晶シリコンTFTとSOIデバイス
- 著者名
-
前田, 茂伸
- 著者別名
-
マエダ, シゲノブ
- 学位授与大学
-
東京大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
乙第15205号
- 学位授与年月日
-
2001-12-14
注記・抄録
博士論文
絶縁膜上のシリコンMOSFETの信頼性とLSI応用に関する研究 : 多結晶シリコンTFTとSOIデバイス
前田, 茂伸
マエダ, シゲノブ
東京大学
博士 (工学)
乙第15205号
2001-12-14
博士論文