Study of particle transport in high pressure sputter deposition process 高圧スパッタ製膜プロセスにおける粒子輸送過程の研究

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Author

    • 中野, 武雄 ナカノ, タケオ

Bibliographic Information

Title

Study of particle transport in high pressure sputter deposition process

Other Title

高圧スパッタ製膜プロセスにおける粒子輸送過程の研究

Author

中野, 武雄

Author(Another name)

ナカノ, タケオ

University

東京大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

乙第15210号

Degree year

2001-12-14

Note and Description

博士論文

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000230375
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000230872
  • Text Lang
    • eng
  • NDLBibID
    • 000004106142
  • Source
    • NDL ONLINE

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