Studies on resist materials for 157 nm lithography 157nmリソグラフィー用レジスト材料に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Studies on resist materials for 157 nm lithography
- タイトル別名
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157nmリソグラフィー用レジスト材料に関する研究
- 著者名
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篠塚, 豊史
- 著者別名
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シノズカ, トヨフミ
- 学位授与大学
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大阪府立大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第822号
- 学位授与年月日
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2003-03-31
注記・抄録
博士論文