Development of subpicosecond pulse radiolysis system and its application to investigation of radiation-induced reactions in chemically amplified resists サブピコ秒パルスラジオリシス装置の開発と化学増幅型レジスト中に誘起される放射線化学反応研究への応用
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著者
書誌事項
- タイトル
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Development of subpicosecond pulse radiolysis system and its application to investigation of radiation-induced reactions in chemically amplified resists
- タイトル別名
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サブピコ秒パルスラジオリシス装置の開発と化学増幅型レジスト中に誘起される放射線化学反応研究への応用
- 著者名
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古澤, 孝弘
- 著者別名
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コザワ, タカヒロ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第8585号
- 学位授与年月日
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2003-01-24
注記・抄録
博士論文
