プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 : 超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作 プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨル チョウ セイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ チョウ ハクマク SOI Silicon on Insulator ウエハ ノ セイサク
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著者
書誌事項
- タイトル
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プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 : 超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作
- タイトル別名
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プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨル チョウ セイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ チョウ ハクマク SOI Silicon on Insulator ウエハ ノ セイサク
- 著者名
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佐野, 泰久
- 著者別名
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サノ, ヤスヒサ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第8588号
- 学位授与年月日
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2003-01-24
注記・抄録
博士論文
