被覆工具用α-Al2O3CVD膜のエピタキシャル成長と高密着性に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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被覆工具用α-Al2O3CVD膜のエピタキシャル成長と高密着性に関する研究
- 著者名
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石井, 敏夫
- 著者別名
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イシイ, トシオ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第8598号
- 学位授与年月日
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2003-01-24
注記・抄録
博士論文
被覆工具用α-Al2O3CVD膜のエピタキシャル成長と高密着性に関する研究
石井, 敏夫
イシイ, トシオ
大阪大学
博士 (工学)
乙第8598号
2003-01-24
博士論文