高周波マグネトロンスパッタ法による硬質酸化膜の諸特性とその評価に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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高周波マグネトロンスパッタ法による硬質酸化膜の諸特性とその評価に関する研究
- 著者名
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藤山, 博一
- 著者別名
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フジヤマ, ヒロカズ
- 学位授与大学
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広島国際学院大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第2号
- 学位授与年月日
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2003-03-07
注記・抄録
博士論文
高周波マグネトロンスパッタ法による硬質酸化膜の諸特性とその評価に関する研究
藤山, 博一
フジヤマ, ヒロカズ
広島国際学院大学
博士 (工学)
乙第2号
2003-03-07
博士論文