多結晶薄膜のX線応力測定と強度評価に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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多結晶薄膜のX線応力測定と強度評価に関する研究
- Author
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伊藤, 登史政
- Author(Another name)
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イトウ, トシマサ
- University
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名古屋大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第5852号
- Degree year
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2003-03-25
Note and Description
博士論文