メタン-SF6混合ガスを用いたプラズマCVD薄膜に関する研究

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Author

    • 松下, 雅樹 マツシタ, マサキ

Bibliographic Information

Title

メタン-SF6混合ガスを用いたプラズマCVD薄膜に関する研究

Author

松下, 雅樹

Author(Another name)

マツシタ, マサキ

University

名古屋大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第5889号

Degree year

2003-03-25

Note and Description

博士論文

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000233093
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000233624
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000004178443
  • Source
    • NDL ONLINE

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