選択成長法により作製した窒化ガリウム薄膜の微細構造評価および結晶成長機構の解明
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著者
書誌事項
- タイトル
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選択成長法により作製した窒化ガリウム薄膜の微細構造評価および結晶成長機構の解明
- 著者名
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堀渕, 嘉代
- 著者別名
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ホリブチ, カヨ
- 学位授与大学
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九州大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第6483号
- 学位授与年月日
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2003-03-25
注記・抄録
博士論文
選択成長法により作製した窒化ガリウム薄膜の微細構造評価および結晶成長機構の解明
堀渕, 嘉代
ホリブチ, カヨ
九州大学
博士 (工学)
甲第6483号
2003-03-25
博士論文