高信頼性強誘電体集積メモリ(FeRAM)技術のためのPZT薄膜物性制御に関する研究 コウシンライセイ キョウユウデンタイ シュウセキ メモリ FeRAM ギジュツ ノ タメノ PZT ハクマク ブッセイ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
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著者
書誌事項
- タイトル
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高信頼性強誘電体集積メモリ(FeRAM)技術のためのPZT薄膜物性制御に関する研究
- タイトル別名
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コウシンライセイ キョウユウデンタイ シュウセキ メモリ FeRAM ギジュツ ノ タメノ PZT ハクマク ブッセイ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者名
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井上, 尚也
- 著者別名
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イノウエ, ナオヤ
- 学位授与大学
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京都大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第11218号
- 学位授与年月日
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2003-03-24
注記・抄録
博士論文