炭化ケイ素(SiC)半導体単結晶の高品質化
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著者
書誌事項
- タイトル
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炭化ケイ素(SiC)半導体単結晶の高品質化
- 著者名
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勝野, 正和
- 著者別名
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カツノ, マサカズ
- 学位授与大学
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東京都立大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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乙第1085号
- 学位授与年月日
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2002-04-18
注記・抄録
博士論文
炭化ケイ素(SiC)半導体単結晶の高品質化
勝野, 正和
カツノ, マサカズ
東京都立大学
博士 (工学)
乙第1085号
2002-04-18
博士論文