選択エピタキシャル成長技術とそのMOSデバイスへの応用に関する研究 センタク エピタキシャル セイチョウ ギジュツ ト ソノ MOS デバイス エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ
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Bibliographic Information
- Title
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選択エピタキシャル成長技術とそのMOSデバイスへの応用に関する研究
- Other Title
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センタク エピタキシャル セイチョウ ギジュツ ト ソノ MOS デバイス エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ
- Author
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中畑, 匠
- Author(Another name)
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ナカハタ, タクミ
- University
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奈良先端科学技術大学院大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第347号
- Degree year
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2003-09-30
Note and Description
博士論文
