光散乱と波面再生法を用いた微細加工形状計測法に関する研究 Study on measurement of microsurface profile using optical scattering and wavefront reconstruction

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Author

    • 田口, 敦清 タグチ, アツシ

Bibliographic Information

Title

光散乱と波面再生法を用いた微細加工形状計測法に関する研究

Other Title

Study on measurement of microsurface profile using optical scattering and wavefront reconstruction

Author

田口, 敦清

Author(Another name)

タグチ, アツシ

University

大阪大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第9839号

Degree year

2004-03-25

Note and Description

博士論文

3access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500002155584
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000002720045
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000007417016
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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