半導体結晶中の格子欠陥の研究とその半導体素子製造工程の改善への応用に関する研究

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著者

    • 行本, 善則 ユキモト, ヨシノリ

書誌事項

タイトル

半導体結晶中の格子欠陥の研究とその半導体素子製造工程の改善への応用に関する研究

著者名

行本, 善則

著者別名

ユキモト, ヨシノリ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第1743号

学位授与年月日

1976-10-29

注記・抄録

博士論文

14401乙第01743号

工学博士

大阪大学

1976-10-29

03736

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000300515
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000301330
  • NDL書誌ID
    • 000007738126
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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