水平型エピタキシャル反応装置に関する移動現象論的研究

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著者

    • 半沢, 保 ハンザワ, タモツ

書誌事項

タイトル

水平型エピタキシャル反応装置に関する移動現象論的研究

著者名

半沢, 保

著者別名

ハンザワ, タモツ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第2564号

学位授与年月日

1978-12-06

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000304496
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000305315
  • NDL書誌ID
    • 000007764600
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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