研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究

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著者

    • 大川, 哲男 オオカワ, テツオ

書誌事項

タイトル

研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究

著者名

大川, 哲男

著者別名

オオカワ, テツオ

学位授与大学

新潟大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第2484号

学位授与年月日

2005-03-23

注記・抄録

博士論文

新潟大学

平成17年3月23日

新大院博(工)第197号

2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000335341
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000336257
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000008058110
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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