Study on high accurate laser diode interferometer for on-machine surface profile measurement オンマシン表面形状計測を可能とする高精度半導体レーザ干渉計に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Study on high accurate laser diode interferometer for on-machine surface profile measurement
- タイトル別名
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オンマシン表面形状計測を可能とする高精度半導体レーザ干渉計に関する研究
- 著者名
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趙, 学峰
- 著者別名
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チョウ, ガクホウ
- 学位授与大学
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新潟大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第2489号
- 学位授与年月日
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2005-03-23
注記・抄録
博士論文
新潟大学
平成17年3月23日
新大院博(工)第202号
