Study on high accurate laser diode interferometer for on-machine surface profile measurement オンマシン表面形状計測を可能とする高精度半導体レーザ干渉計に関する研究

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著者

    • 趙, 学峰 チョウ, ガクホウ

書誌事項

タイトル

Study on high accurate laser diode interferometer for on-machine surface profile measurement

タイトル別名

オンマシン表面形状計測を可能とする高精度半導体レーザ干渉計に関する研究

著者名

趙, 学峰

著者別名

チョウ, ガクホウ

学位授与大学

新潟大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第2489号

学位授与年月日

2005-03-23

注記・抄録

博士論文

新潟大学

平成17年3月23日

新大院博(工)第202号

1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000335353
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000336269
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000008058155
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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