Study on high accurate laser diode interferometer for on-machine surface profile measurement オンマシン表面形状計測を可能とする高精度半導体レーザ干渉計に関する研究
Access this Article
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
Study on high accurate laser diode interferometer for on-machine surface profile measurement
- Other Title
-
オンマシン表面形状計測を可能とする高精度半導体レーザ干渉計に関する研究
- Author
-
趙, 学峰
- Author(Another name)
-
チョウ, ガクホウ
- University
-
新潟大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第2489号
- Degree year
-
2005-03-23
Note and Description
博士論文
新潟大学
平成17年3月23日
新大院博（工）第202号
新大院博（工）甲第202号
