有機金属気相エピタキシー法による化合物半導体結晶成長機構の解析と精密界面構造制御
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著者
書誌事項
- タイトル
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有機金属気相エピタキシー法による化合物半導体結晶成長機構の解析と精密界面構造制御
- 著者名
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中野, 貴之
- 著者別名
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ナカノ, タカユキ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第21200号
- 学位授与年月日
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2006-03-23
注記・抄録
博士論文
有機金属気相エピタキシー法による化合物半導体結晶成長機構の解析と精密界面構造制御
中野, 貴之
ナカノ, タカユキ
東京大学
博士 (工学)
甲第21200号
2006-03-23
博士論文