電気銅めっきの膜厚均一性とフィリング性の向上

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著者

    • 大久保, 利一 オオクボ, トシカズ

書誌事項

タイトル

電気銅めっきの膜厚均一性とフィリング性の向上

著者名

大久保, 利一

著者別名

オオクボ, トシカズ

学位授与大学

大阪府立大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第1040号

学位授与年月日

2007-03-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000370038
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000371191
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000008524378
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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