Study on silicon thermoresistive fluidic inertial sensors utilizing microelectromechanical systems (MEMS) technology MEMS技術を用いたシリコン熱抵抗型流体慣性センサに関する研究

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著者

    • Dau Thanh Van ダウ タン バン

書誌事項

タイトル

Study on silicon thermoresistive fluidic inertial sensors utilizing microelectromechanical systems (MEMS) technology

タイトル別名

MEMS技術を用いたシリコン熱抵抗型流体慣性センサに関する研究

著者名

Dau Thanh Van

著者別名

ダウ タン バン

学位授与大学

立命館大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第458号

学位授与年月日

2007-03-31

注記・抄録

博士論文

博士(工学)

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000370485
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000371644
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000008525585
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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