Study on silicon piezoresistive multi-axis micro accelerometers シリコンピエゾ抵抗型マイクロ多軸加速度センサに関する研究

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Author

    • Yattowita Withanage Ranjith Amarasinghe ヤトウーウイタ ウイターナゲ ランジス アマラシンゲ

Bibliographic Information

Title

Study on silicon piezoresistive multi-axis micro accelerometers

Other Title

シリコンピエゾ抵抗型マイクロ多軸加速度センサに関する研究

Author

Yattowita Withanage Ranjith Amarasinghe

Author(Another name)

ヤトウーウイタ ウイターナゲ ランジス アマラシンゲ

University

立命館大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

乙第429号

Degree year

2007-03-09

Note and Description

博士論文

0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000370527
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000371686
  • Text Lang
    • eng
  • NDLBibID
    • 000008525635
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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