活性化スパッタリングにより形成したチタン及び亜鉛酸化物素子の製法及特性に関する研究

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著者

    • 波田, 敏雄 ハダ, トシオ

書誌事項

タイトル

活性化スパッタリングにより形成したチタン及び亜鉛酸化物素子の製法及特性に関する研究

著者名

波田, 敏雄

著者別名

ハダ, トシオ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第918号

学位授与年月日

1972-06-10

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000370909
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000372068
  • NDL書誌ID
    • 000008526988
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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